反射率、エネルギー分散型蛍光X線分析、光学ツールインラインデュアルヘッドマイクロスポットXRF ONYX 3200-ONYX 3200

反射率、エネルギー分散型蛍光X線分析、光学ツールインラインデュアルヘッドマイクロスポットXRF ONYX 3200
株式会社リガク

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この製品について

■非破壊ウェーハ検査と計測・デュアルX線源 (ポリキャピラリー/モノクロマチック) 
・300mmウェーハまで対応

■概要ONYX3200は、市場で最も先進的なハイブリッド計測ソリューションです。デュアルヘッドを備えたこの第2世代ツールは、高度なμXRFと光学技術を組み合わせ、インライン半導体製造において高精度の欠陥検出と最高のスループットを提供します。

ONYXシリーズのシステムは、FEOLからWLPまでの製造プロセスの全工程において、総合的な計測アプローチを提供するように設計されています。これには、高度なパッケージングやシングルバンプアプリケーションに最適な構成が含まれ、Ag/Sn比をモニターすることができます。

■最適化されたソース性能・プロセスモニタリングのためのシングルμバンプ測定
・高い歩留まりとスループットの向上
・金属の厚みと組成の正確な分析
・層厚と組成に対する最大感度

■特長・最適なアプリケーション性能のための分析柔軟性を提供するデュアルヘッドμXRF構成
・単色および多色のμXRF光学システム
・低出力X線、非破壊分析
・集束垂直加振構成
・4つのシリコンドリフト検出器 (SDD) の配列による有効面積拡大と分解能改善
・組成分析および膜厚の測定
・完全に自動化された校正プロセスにより、長期的な安定性、一貫性、X線管のエージング補正を実現
・サブミクロン精度を実現する先進のモーション・プラットフォーム
・インラインHVM計測に最適

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
反射率、エネルギー分散型蛍光X線分析、光学ツールインラインデュアルヘッドマイクロスポットXRF ONYX 3200

取扱企業
株式会社リガク

カテゴリ

アナライザ

X線分析装置

検査装置

X線検査装置

測定機器

蛍光X線分析装置

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反射率、エネルギー分散型蛍光X線分析、光学ツールインラインデュアルヘッドマイクロスポットXRF ONYX 3200 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	計測タイプ	ウェーハサイズ	ウェーハタイプ	ナビゲーション	マイクロXRFビームの方向	光学系	検出器タイプ	DPP｜デジタル・パルス・プロセッサー
	ONYX 3200	要見積もり	デュアルヘッドマイクロスポットEDXRFおよび光学検査 (2D-3D)	最大300mm	ブランケットとパターンウェーハ	画像認識アルゴリズムで補完された精密ステージ単一の特徴中心へのサブミクロンの高速ナビゲーション	垂直入射マイクロスポット (µXRF)	Polychromatic (X線光学系) およびCOLORS "Monochromatic" (X線光学系)	シリコン・ドリフト検出器 (SDD) ： 3つの構成 1. レギュラー > Al 2. 軽元素： C、N、O、F、S 3. 重元素： > Ge (Ag、Snに最適化)	100万光子/秒以上の高効率