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シリーズ
半導体評価用波長分散型蛍光X線分析装置 薄膜評価用蛍光X線分析装置 WaferX 310取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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X線分析装置の製品111点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 手法 | 用途 | 主要コンポーネント | 制御 (PC) | 本体寸法 | 重量 | 電源 | テクノロジー | オプション |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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WaferX 310 |
要見積もり |
波長分散型蛍光X線分析 (WD-XRF) |
300 mm、200 mm、ウェーハ上の各種薄膜の膜厚・組成 |
最大21チャンネル、固定タイプ (₄Be~₉₂U) 、スキャンタイプ (₂₂Ti~₉₂U) 、CEマーク、GEM-300、SEMI S2 / S8 |
内部PC、MS Windows® OS |
1,200 (W) x 1,950 (H) x 2,498 (D) mm |
1,166 kg (本体) |
三相 200 VAC 50/60 Hz, 50 A |
4 kWハイパワーX線源、ファクトリーオートメーションでWDXRFを処理 |
300 mmファクトリーオートメーション |
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分析対象: 元素分析型
X線分析装置をフィルターから探すことができます