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半導体評価用波長分散型蛍光X線分析装置 薄膜評価用蛍光X線分析装置 WAFER/DISK ANALYZER 3650取扱企業
株式会社リガクカテゴリ
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X線分析装置の製品111点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 製品名 | 手法 | 用途 | 主要コンポーネント | 制御 (PC) | 本体寸法 | 重量 | 電源 | テクノロジー | オプション |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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WAFER/DISK ANALYZER 3650 |
要見積もり |
WDA-3650 |
同時波長分散型蛍光X線 (WD-XRF) |
200 mmまでのウェーハ用の多層スタックの厚さと組成 |
最大20チャンネル、固定タイプ (₄Be~₉₂U) 、スキャンタイプ (₂₂Ti~₉₂U) |
内部PC、MS Windows® OS |
1,120 (W) x 1,450 (H) x 890 (D) mm |
600 kg (本体) |
三相 200 VAC 50/60 Hz, 30 A or 単相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A |
XYθサンプルステージ付き4 kWX線発生装置、RhアノードWDXRF |
高感度のAD-Boronチャンネル、C-to-Cオートローダによる自動校正機能 |
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分析対象: 元素分析型
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