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A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-A-311.DA1
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-ピーアイ・ジャパン株式会社

A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム
ピーアイ・ジャパン株式会社

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高性能・小型XYナノポジショニングシステム。エアベアリングを備えた高精度PIglide IS XY平面スキャナーは、フラットなデザインで、積み重ねられたXYステージの代替品です。効率的でコンパクトな設計により、設置スペースが限られている機械のスペースを節約できます。

■特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・300 mm × 400 mmまでの移動範囲 ・147 Nまでの負荷容量 ・ロープロファイル ・1 nmまでの分解能 概要

■PIMag磁気ダイレクトドライブ®

三相磁気ダイレクトドライブは、ドライブトレインに機械部品を使用せず、摩擦なしで直接駆動力をモーションプラットフォームに伝達します。ドライブは高速と加速に達します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度に対する要求が最も高い位置決め作業に特に適しています。 これにより、最低速度でもスムーズな走行が可能になると同時に、高速でも振動がありません。制御動作の非線形性が回避され、任意の位置を簡単に制御できます。駆動力は自由に設定できます。大手メーカーのデジタルコントローラでの操作は、ダイナミクスとエラー補償を改善するための高度な制御アルゴリズムを提供します。

■アクセサリとオプション

エンコーダー/PIglideフィルターと空気準備キット/多軸モーションコントローラとダイレクトドライブ/マシンベース/花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■応用分野

PIglideポジショニングシステムは、検査システム、レーザーマーキング、顕微鏡、スキャンなどの高精度アプリケーションに最適です。

  • シリーズ

    A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム

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A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム 品番10件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 Yの旅行範囲 Xの加速度、無負荷 Y単位の加速度、無負荷 最大速度 (X) (無負荷) Y単位の最大速度、無負荷 直交 真直度 (Xの線形クロストークとYの運動) 真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) 平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) 平坦度 (Z単位の線形クロストークとY単位の運動) ピッチ (回転クロストーク (θX、運動はY) ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) ヨー (θZ の回転クロストークと X の運動) ヨー (θZ の回転クロストークと Y の運動) X単位の位置決め精度、校正済み X単位の位置決め精度、未校正 Y単位の位置決め精度、校正済み 位置決め精度 (Y単位) 、未校正 Xでの双方向再現性 Y単位の双方向再現性 基準スイッチ リミットスイッチ 統合センサー センサー信号 センサー信号周期 センサー解像度 ドライブの種類 公称電圧
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-品番-A-311.DA1

A-311.DA1

要見積もり X Y 50 mm 50 mm 27.5 m/s² 15 m/s² 2,000 mm/s 2,000 mm/s ± 12.5 µrad ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 10 µrad ± 10 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 0.2 µm ± 1 µm ± 0.2 µm ± 1 µm 0.1 µm 0.1 µm エンコーダインデックス ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos, 1 V peak-peak 20 µm 1.2 nm アイアンレス3相リニアモーター 48 V
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-品番-A-311.DB1

A-311.DB1

要見積もり X Y 50 mm 50 mm 27.5 m/s² 15 m/s² 2,000 mm/s 2,000 mm/s ± 12.5 µrad ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 10 µrad ± 10 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 0.2 µm ± 1 µm ± 0.2 µm ± 1 µm 0.1 µm 0.1 µm - - アブソリュートリニアエンコーダ BiSS-C - 1 nm アイアンレス3相リニアモーター 48 V
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-品番-A-311.AA1

A-311.AA1

要見積もり X Y 100 mm 100 mm 27.5 m/s² 13 m/s² 2,000 mm/s 2,000 mm/s ± 12.5 µrad ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 0.2 µm ± 1.5 µm ± 0.2 µm ± 1.5 µm 0.1 µm 0.1 µm エンコーダインデックス ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos, 1 V peak-peak 20 µm 1.2 nm アイアンレス3相リニアモーター 48 V
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-品番-A-311.AB1

A-311.AB1

要見積もり X Y 100 mm 100 mm 27.5 m/s² 13 m/s² 2,000 mm/s 2,000 mm/s ± 12.5 µrad ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 0.2 µm ± 1.5 µm ± 0.2 µm ± 1.5 µm 0.1 µm 0.1 µm - - アブソリュートリニアエンコーダ BiSS-C - 1 nm アイアンレス3相リニアモーター 48 V
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-品番-A-311.BA1

A-311.BA1

要見積もり X Y 150 mm 150 mm 27.5 m/s² 11 m/s² 2,000 mm/s 2,000 mm/s ± 12.5 µrad ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 17.5 µrad ± 17.5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 0.2 µm ± 2 µm ± 0.2 µm ± 2 µm 0.1 µm 0.1 µm エンコーダインデックス ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos, 1 V peak-peak 20 µm 1.2 nm アイアンレス3相リニアモーター 48 V
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-品番-A-311.BB1

A-311.BB1

要見積もり X Y 150 mm 150 mm 27.5 m/s² 11 m/s² 2,000 mm/s 2,000 mm/s ± 12.5 µrad ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 17.5 µrad ± 17.5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 0.2 µm ± 2 µm ± 0.2 µm ± 2 µm 0.1 µm 0.1 µm - - アブソリュートリニアエンコーダ BiSS-C - 1 nm アイアンレス3相リニアモーター 48 V
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-品番-A-311.CA1

A-311.CA1

要見積もり X Y 200 mm 200 mm 27.5 m/s² 10 m/s² 2,000 mm/s 2,000 mm/s ± 12.5 µrad ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 0.75 µm ± 20 µrad ± 20 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 0.2 µm ± 2.5 µm ± 0.2 µm ± 2.5 µm 0.1 µm 0.1 µm エンコーダインデックス ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ インクリメンタルリニアエンコーダ Sin/cos, 1 V peak-peak 20 µm 1.2 nm アイアンレス3相リニアモーター 48 V
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-品番-A-311.CB1

A-311.CB1

要見積もり X Y 200 mm 200 mm 27.5 m/s² 10 m/s² 2,000 mm/s 2,000 mm/s ± 12.5 µrad ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 0.75 µm ± 20 µrad ± 20 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 0.2 µm ± 2.5 µm ± 0.2 µm ± 2.5 µm 0.1 µm 0.1 µm - - アブソリュートリニアエンコーダ BiSS-C - 1 nm アイアンレス3相リニアモーター 48 V
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-品番-A-311.FB1

A-311.FB1

要見積もり X Y 300 mm 300 mm 10 m/s² 10 m/s² 1,000 mm/s 1,000 mm/s ± 5 µrad ± 1 µm ± 1 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 40 µrad ± 40 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 0.2 µm - ± 0.2 µm - 0.15 µm 0.15 µm - - アブソリュートリニアエンコーダ BiSS-C - 1 nm アイアンレス3相リニアモーター 48 V
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム-品番-A-311.GB1

A-311.GB1

要見積もり X Y 300 mm 400 mm 10 m/s² 10 m/s² 1,000 mm/s 1,000 mm/s ± 25 µrad ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 0.75 µm ± 20 µrad ± 20 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 0.2 µm - ± 0.2 µm - 0.1 µm 0.1 µm - - アブソリュートリニアエンコーダ BiSS-C - 1 nm アイアンレス3相リニアモーター 48 V

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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