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A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X単位の移動範囲 | Yの旅行範囲 | Xの加速度、無負荷 | Y単位の加速度、無負荷 | 最大速度 (X) (無負荷) | Y単位の最大速度、無負荷 | 直交 | 真直度 (Xの線形クロストークとYの運動) | 真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) | 平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) | 平坦度 (Z単位の線形クロストークとY単位の運動) | ピッチ (回転クロストーク (θX、運動はY) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) | ヨー (θZ の回転クロストークと X の運動) | ヨー (θZ の回転クロストークと Y の運動) | X単位の位置決め精度、校正済み | X単位の位置決め精度、未校正 | Y単位の位置決め精度、校正済み | 位置決め精度 (Y単位) 、未校正 | Xでの双方向再現性 | Y単位の双方向再現性 | 基準スイッチ | リミットスイッチ | 統合センサー | センサー信号 | センサー信号周期 | センサー解像度 | ドライブの種類 | 公称電圧 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
A-311.DA1 |
要見積もり |
X Y |
50 mm |
50 mm |
27.5 m/s² |
15 m/s² |
2,000 mm/s |
2,000 mm/s |
± 12.5 µrad |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 10 µrad |
± 10 µrad |
± 5 µrad |
± 5 µrad |
± 0.2 µm |
± 1 µm |
± 0.2 µm |
± 1 µm |
0.1 µm |
0.1 µm |
エンコーダインデックス |
ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ |
インクリメンタルリニアエンコーダ |
Sin/cos, 1 V peak-peak |
20 µm |
1.2 nm |
アイアンレス3相リニアモーター |
48 V |
|
|
|
A-311.DB1 |
要見積もり |
X Y |
50 mm |
50 mm |
27.5 m/s² |
15 m/s² |
2,000 mm/s |
2,000 mm/s |
± 12.5 µrad |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 10 µrad |
± 10 µrad |
± 5 µrad |
± 5 µrad |
± 0.2 µm |
± 1 µm |
± 0.2 µm |
± 1 µm |
0.1 µm |
0.1 µm |
- | - |
アブソリュートリニアエンコーダ |
BiSS-C |
- |
1 nm |
アイアンレス3相リニアモーター |
48 V |
|
|
|
A-311.AA1 |
要見積もり |
X Y |
100 mm |
100 mm |
27.5 m/s² |
13 m/s² |
2,000 mm/s |
2,000 mm/s |
± 12.5 µrad |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 12.5 µrad |
± 12.5 µrad |
± 5 µrad |
± 5 µrad |
± 0.2 µm |
± 1.5 µm |
± 0.2 µm |
± 1.5 µm |
0.1 µm |
0.1 µm |
エンコーダインデックス |
ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ |
インクリメンタルリニアエンコーダ |
Sin/cos, 1 V peak-peak |
20 µm |
1.2 nm |
アイアンレス3相リニアモーター |
48 V |
|
|
|
A-311.AB1 |
要見積もり |
X Y |
100 mm |
100 mm |
27.5 m/s² |
13 m/s² |
2,000 mm/s |
2,000 mm/s |
± 12.5 µrad |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 12.5 µrad |
± 12.5 µrad |
± 5 µrad |
± 5 µrad |
± 0.2 µm |
± 1.5 µm |
± 0.2 µm |
± 1.5 µm |
0.1 µm |
0.1 µm |
- | - |
アブソリュートリニアエンコーダ |
BiSS-C |
- |
1 nm |
アイアンレス3相リニアモーター |
48 V |
|
|
|
A-311.BA1 |
要見積もり |
X Y |
150 mm |
150 mm |
27.5 m/s² |
11 m/s² |
2,000 mm/s |
2,000 mm/s |
± 12.5 µrad |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 0.5 µm |
± 0.5 µm |
± 17.5 µrad |
± 17.5 µrad |
± 7.5 µrad |
± 7.5 µrad |
± 0.2 µm |
± 2 µm |
± 0.2 µm |
± 2 µm |
0.1 µm |
0.1 µm |
エンコーダインデックス |
ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ |
インクリメンタルリニアエンコーダ |
Sin/cos, 1 V peak-peak |
20 µm |
1.2 nm |
アイアンレス3相リニアモーター |
48 V |
|
|
|
A-311.BB1 |
要見積もり |
X Y |
150 mm |
150 mm |
27.5 m/s² |
11 m/s² |
2,000 mm/s |
2,000 mm/s |
± 12.5 µrad |
± 0.25 µm |
± 0.25 µm |
± 0.5 µm |
± 0.5 µm |
± 17.5 µrad |
± 17.5 µrad |
± 7.5 µrad |
± 7.5 µrad |
± 0.2 µm |
± 2 µm |
± 0.2 µm |
± 2 µm |
0.1 µm |
0.1 µm |
- | - |
アブソリュートリニアエンコーダ |
BiSS-C |
- |
1 nm |
アイアンレス3相リニアモーター |
48 V |
|
|
|
A-311.CA1 |
要見積もり |
X Y |
200 mm |
200 mm |
27.5 m/s² |
10 m/s² |
2,000 mm/s |
2,000 mm/s |
± 12.5 µrad |
± 0.5 µm |
± 0.5 µm |
± 0.75 µm |
± 0.75 µm |
± 20 µrad |
± 20 µrad |
± 10 µrad |
± 10 µrad |
± 0.2 µm |
± 2.5 µm |
± 0.2 µm |
± 2.5 µm |
0.1 µm |
0.1 µm |
エンコーダインデックス |
ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ |
インクリメンタルリニアエンコーダ |
Sin/cos, 1 V peak-peak |
20 µm |
1.2 nm |
アイアンレス3相リニアモーター |
48 V |
|
|
|
A-311.CB1 |
要見積もり |
X Y |
200 mm |
200 mm |
27.5 m/s² |
10 m/s² |
2,000 mm/s |
2,000 mm/s |
± 12.5 µrad |
± 0.5 µm |
± 0.5 µm |
± 0.75 µm |
± 0.75 µm |
± 20 µrad |
± 20 µrad |
± 10 µrad |
± 10 µrad |
± 0.2 µm |
± 2.5 µm |
± 0.2 µm |
± 2.5 µm |
0.1 µm |
0.1 µm |
- | - |
アブソリュートリニアエンコーダ |
BiSS-C |
- |
1 nm |
アイアンレス3相リニアモーター |
48 V |
|
|
|
A-311.FB1 |
要見積もり |
X Y |
300 mm |
300 mm |
10 m/s² |
10 m/s² |
1,000 mm/s |
1,000 mm/s |
± 5 µrad |
± 1 µm |
± 1 µm |
± 1.5 µm |
± 1.5 µm |
± 40 µrad |
± 40 µrad |
± 20 µrad |
± 20 µrad |
± 0.2 µm |
- |
± 0.2 µm |
- |
0.15 µm |
0.15 µm |
- | - |
アブソリュートリニアエンコーダ |
BiSS-C |
- |
1 nm |
アイアンレス3相リニアモーター |
48 V |
|
|
|
A-311.GB1 |
要見積もり |
X Y |
300 mm |
400 mm |
10 m/s² |
10 m/s² |
1,000 mm/s |
1,000 mm/s |
± 25 µrad |
± 0.5 µm |
± 0.5 µm |
± 0.75 µm |
± 0.75 µm |
± 20 µrad |
± 20 µrad |
± 10 µrad |
± 10 µrad |
± 0.2 µm |
- |
± 0.2 µm |
- |
0.1 µm |
0.1 µm |
- | - |
アブソリュートリニアエンコーダ |
BiSS-C |
- |
1 nm |
アイアンレス3相リニアモーター |
48 V |
A-123 エアベアリング付きリニアモータステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社
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