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A-311 エアベアリング付き平面スキャナー 高性能・小型XYナノポジショニングシステム取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X単位の移動範囲 | Yの旅行範囲 | Xの加速度、無負荷 | Y単位の加速度、無負荷 | 最大速度 (X) (無負荷) | Y単位の最大速度、無負荷 | 直交 | 真直度 (Xの線形クロストークとYの運動) | 真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) | 平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) | 平坦度 (Z単位の線形クロストークとY単位の運動) | ピッチ (回転クロストーク (θX、運動はY) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) | ヨー (θZ の回転クロストークと X の運動) | ヨー (θZ の回転クロストークと Y の運動) | X単位の位置決め精度、校正済み | X単位の位置決め精度、未校正 | Y単位の位置決め精度、校正済み | 位置決め精度 (Y単位) 、未校正 | Xでの双方向再現性 | Y単位の双方向再現性 | 基準スイッチ | リミットスイッチ | 統合センサー | センサー信号 | センサー信号周期 | センサー解像度 | ドライブの種類 | 公称電圧 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
A-311.DA1 |
要見積もり | X Y | 50 mm | 50 mm | 27.5 m/s² | 15 m/s² | 2,000 mm/s | 2,000 mm/s | ± 12.5 µrad | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 0.2 µm | ± 1 µm | ± 0.2 µm | ± 1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | エンコーダインデックス | ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ | インクリメンタルリニアエンコーダ | Sin/cos, 1 V peak-peak | 20 µm | 1.2 nm | アイアンレス3相リニアモーター | 48 V | ||
A-311.DB1 |
要見積もり | X Y | 50 mm | 50 mm | 27.5 m/s² | 15 m/s² | 2,000 mm/s | 2,000 mm/s | ± 12.5 µrad | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 0.2 µm | ± 1 µm | ± 0.2 µm | ± 1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | - | - | アブソリュートリニアエンコーダ | BiSS-C | - | 1 nm | アイアンレス3相リニアモーター | 48 V | ||
A-311.AA1 |
要見積もり | X Y | 100 mm | 100 mm | 27.5 m/s² | 13 m/s² | 2,000 mm/s | 2,000 mm/s | ± 12.5 µrad | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 12.5 µrad | ± 12.5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 0.2 µm | ± 1.5 µm | ± 0.2 µm | ± 1.5 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | エンコーダインデックス | ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ | インクリメンタルリニアエンコーダ | Sin/cos, 1 V peak-peak | 20 µm | 1.2 nm | アイアンレス3相リニアモーター | 48 V | ||
A-311.AB1 |
要見積もり | X Y | 100 mm | 100 mm | 27.5 m/s² | 13 m/s² | 2,000 mm/s | 2,000 mm/s | ± 12.5 µrad | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 12.5 µrad | ± 12.5 µrad | ± 5 µrad | ± 5 µrad | ± 0.2 µm | ± 1.5 µm | ± 0.2 µm | ± 1.5 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | - | - | アブソリュートリニアエンコーダ | BiSS-C | - | 1 nm | アイアンレス3相リニアモーター | 48 V | ||
A-311.BA1 |
要見積もり | X Y | 150 mm | 150 mm | 27.5 m/s² | 11 m/s² | 2,000 mm/s | 2,000 mm/s | ± 12.5 µrad | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 17.5 µrad | ± 17.5 µrad | ± 7.5 µrad | ± 7.5 µrad | ± 0.2 µm | ± 2 µm | ± 0.2 µm | ± 2 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | エンコーダインデックス | ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ | インクリメンタルリニアエンコーダ | Sin/cos, 1 V peak-peak | 20 µm | 1.2 nm | アイアンレス3相リニアモーター | 48 V | ||
A-311.BB1 |
要見積もり | X Y | 150 mm | 150 mm | 27.5 m/s² | 11 m/s² | 2,000 mm/s | 2,000 mm/s | ± 12.5 µrad | ± 0.25 µm | ± 0.25 µm | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 17.5 µrad | ± 17.5 µrad | ± 7.5 µrad | ± 7.5 µrad | ± 0.2 µm | ± 2 µm | ± 0.2 µm | ± 2 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | - | - | アブソリュートリニアエンコーダ | BiSS-C | - | 1 nm | アイアンレス3相リニアモーター | 48 V | ||
A-311.CA1 |
要見積もり | X Y | 200 mm | 200 mm | 27.5 m/s² | 10 m/s² | 2,000 mm/s | 2,000 mm/s | ± 12.5 µrad | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 0.75 µm | ± 0.75 µm | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 0.2 µm | ± 2.5 µm | ± 0.2 µm | ± 2.5 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | エンコーダインデックス | ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ | インクリメンタルリニアエンコーダ | Sin/cos, 1 V peak-peak | 20 µm | 1.2 nm | アイアンレス3相リニアモーター | 48 V | ||
A-311.CB1 |
要見積もり | X Y | 200 mm | 200 mm | 27.5 m/s² | 10 m/s² | 2,000 mm/s | 2,000 mm/s | ± 12.5 µrad | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 0.75 µm | ± 0.75 µm | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 0.2 µm | ± 2.5 µm | ± 0.2 µm | ± 2.5 µm | 0.1 µm | 0.1 µm | - | - | アブソリュートリニアエンコーダ | BiSS-C | - | 1 nm | アイアンレス3相リニアモーター | 48 V | ||
A-311.FB1 |
要見積もり | X Y | 300 mm | 300 mm | 10 m/s² | 10 m/s² | 1,000 mm/s | 1,000 mm/s | ± 5 µrad | ± 1 µm | ± 1 µm | ± 1.5 µm | ± 1.5 µm | ± 40 µrad | ± 40 µrad | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 0.2 µm | - | ± 0.2 µm | - | 0.15 µm | 0.15 µm | - | - | アブソリュートリニアエンコーダ | BiSS-C | - | 1 nm | アイアンレス3相リニアモーター | 48 V | ||
A-311.GB1 |
要見積もり | X Y | 300 mm | 400 mm | 10 m/s² | 10 m/s² | 1,000 mm/s | 1,000 mm/s | ± 25 µrad | ± 0.5 µm | ± 0.5 µm | ± 0.75 µm | ± 0.75 µm | ± 20 µrad | ± 20 µrad | ± 10 µrad | ± 10 µrad | ± 0.2 µm | - | ± 0.2 µm | - | 0.1 µm | 0.1 µm | - | - | アブソリュートリニアエンコーダ | BiSS-C | - | 1 nm | アイアンレス3相リニアモーター | 48 V |