A-311 エアベアリング付き平面スキャナー　高性能・小型XYナノポジショニングシステム-A-311.DA1

A-311 エアベアリング付き平面スキャナー　高性能・小型XYナノポジショニングシステム
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

高性能・小型XYナノポジショニングシステム。エアベアリングを備えた高精度PIglide IS XY平面スキャナーは、フラットなデザインで、積み重ねられたXYステージの代替品です。効率的でコンパクトな設計により、設置スペースが限られている機械のスペースを節約できます。

■特徴・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・300 mm × 400 mmまでの移動範囲
・147 Nまでの負荷容量
・ロープロファイル
・1 nmまでの分解能

概要
■PIMag磁気ダイレクトドライブ®三相磁気ダイレクトドライブは、ドライブトレインに機械部品を使用せず、摩擦なしで直接駆動力をモーションプラットフォームに伝達します。ドライブは高速と加速に達します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度に対する要求が最も高い位置決め作業に特に適しています。

これにより、最低速度でもスムーズな走行が可能になると同時に、高速でも振動がありません。制御動作の非線形性が回避され、任意の位置を簡単に制御できます。駆動力は自由に設定できます。大手メーカーのデジタルコントローラでの操作は、ダイナミクスとエラー補償を改善するための高度な制御アルゴリズムを提供します。

■アクセサリとオプションエンコーダー/PIglideフィルターと空気準備キット/多軸モーションコントローラとダイレクトドライブ/マシンベース/花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■応用分野PIglideポジショニングシステムは、検査システム、レーザーマーキング、顕微鏡、スキャンなどの高精度アプリケーションに最適です。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー　高性能・小型XYナノポジショニングシステム

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

2軸ステージ

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A-311 エアベアリング付き平面スキャナー　高性能・小型XYナノポジショニングシステム品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	X単位の移動範囲 50 mm 100 mm 150 mm 200 mm 300 mm	Yの旅行範囲 50 mm 100 mm 150 mm 200 mm 300 mm 400 mm	Xの加速度、無負荷 27.5 m/s² 10 m/s²	Y単位の加速度、無負荷 15 m/s² 13 m/s² 11 m/s² 10 m/s²	最大速度 (X) (無負荷) 2,000 mm/s 1,000 mm/s	Y単位の最大速度、無負荷 2,000 mm/s 1,000 mm/s	直交 ± 12.5 µrad ± 5 µrad ± 25 µrad	真直度 (Xの線形クロストークとYの運動) ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 1 µm	真直度 (Yの線形クロストークとXの運動) ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 1 µm	平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動) ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 1.5 µm	平坦度 (Z単位の線形クロストークとY単位の運動) ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 1.5 µm	ピッチ (回転クロストーク (θX、運動はY) ± 10 µrad ± 12.5 µrad ± 17.5 µrad ± 20 µrad ± 40 µrad	ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) ± 10 µrad ± 12.5 µrad ± 17.5 µrad ± 20 µrad ± 40 µrad	ヨー (θZ の回転クロストークと X の運動) ± 5 µrad ± 7.5 µrad ± 10 µrad ± 20 µrad	ヨー (θZ の回転クロストークと Y の運動) ± 5 µrad ± 7.5 µrad ± 10 µrad ± 20 µrad	X単位の位置決め精度、校正済み	X単位の位置決め精度、未校正 ± 1 µm ± 1.5 µm ± 2 µm ± 2.5 µm	Y単位の位置決め精度、校正済み	位置決め精度 (Y単位) 、未校正 ± 1 µm ± 1.5 µm ± 2 µm ± 2.5 µm	Xでの双方向再現性 0.1 µm 0.15 µm	Y単位の双方向再現性 0.1 µm 0.15 µm	基準スイッチエンコーダインデックス	リミットスイッチホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ	統合センサーインクリメンタルリニアエンコーダアブソリュートリニアエンコーダ	センサー信号 Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C	センサー信号周期 20 µm	センサー解像度 1.2 nm 1 nm	ドライブの種類	公称電圧
A-311.DA1	要見積もり	X Y	50 mm	50 mm	27.5 m/s²	15 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 10 µrad	± 10 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 0.2 µm	± 1 µm	± 0.2 µm	± 1 µm	0.1 µm	0.1 µm	エンコーダインデックス	ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ	インクリメンタルリニアエンコーダ	Sin/cos, 1 V peak-peak	20 µm	1.2 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.DB1	要見積もり	X Y	50 mm	50 mm	27.5 m/s²	15 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 10 µrad	± 10 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 0.2 µm	± 1 µm	± 0.2 µm	± 1 µm	0.1 µm	0.1 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.AA1	要見積もり	X Y	100 mm	100 mm	27.5 m/s²	13 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 12.5 µrad	± 12.5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 0.2 µm	± 1.5 µm	± 0.2 µm	± 1.5 µm	0.1 µm	0.1 µm	エンコーダインデックス	ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ	インクリメンタルリニアエンコーダ	Sin/cos, 1 V peak-peak	20 µm	1.2 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.AB1	要見積もり	X Y	100 mm	100 mm	27.5 m/s²	13 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 12.5 µrad	± 12.5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 0.2 µm	± 1.5 µm	± 0.2 µm	± 1.5 µm	0.1 µm	0.1 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.BA1	要見積もり	X Y	150 mm	150 mm	27.5 m/s²	11 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.5 µm	± 0.5 µm	± 17.5 µrad	± 17.5 µrad	± 7.5 µrad	± 7.5 µrad	± 0.2 µm	± 2 µm	± 0.2 µm	± 2 µm	0.1 µm	0.1 µm	エンコーダインデックス	ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ	インクリメンタルリニアエンコーダ	Sin/cos, 1 V peak-peak	20 µm	1.2 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.BB1	要見積もり	X Y	150 mm	150 mm	27.5 m/s²	11 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.5 µm	± 0.5 µm	± 17.5 µrad	± 17.5 µrad	± 7.5 µrad	± 7.5 µrad	± 0.2 µm	± 2 µm	± 0.2 µm	± 2 µm	0.1 µm	0.1 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.CA1	要見積もり	X Y	200 mm	200 mm	27.5 m/s²	10 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.5 µm	± 0.5 µm	± 0.75 µm	± 0.75 µm	± 20 µrad	± 20 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 0.2 µm	± 2.5 µm	± 0.2 µm	± 2.5 µm	0.1 µm	0.1 µm	エンコーダインデックス	ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ	インクリメンタルリニアエンコーダ	Sin/cos, 1 V peak-peak	20 µm	1.2 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.CB1	要見積もり	X Y	200 mm	200 mm	27.5 m/s²	10 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.5 µm	± 0.5 µm	± 0.75 µm	± 0.75 µm	± 20 µrad	± 20 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 0.2 µm	± 2.5 µm	± 0.2 µm	± 2.5 µm	0.1 µm	0.1 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.FB1	要見積もり	X Y	300 mm	300 mm	10 m/s²	10 m/s²	1,000 mm/s	1,000 mm/s	± 5 µrad	± 1 µm	± 1 µm	± 1.5 µm	± 1.5 µm	± 40 µrad	± 40 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 0.2 µm	-	± 0.2 µm	-	0.15 µm	0.15 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.GB1	要見積もり	X Y	300 mm	400 mm	10 m/s²	10 m/s²	1,000 mm/s	1,000 mm/s	± 25 µrad	± 0.5 µm	± 0.5 µm	± 0.75 µm	± 0.75 µm	± 20 µrad	± 20 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 0.2 µm	-	± 0.2 µm	-	0.1 µm	0.1 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V