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N-331 UHV 真空対応アクチュエータ / ピエゾリニアモータ-N-331.20U
N-331 UHV 真空対応アクチュエータ / ピエゾリニアモータ-ピーアイ・ジャパン株式会社

N-331 UHV 真空対応アクチュエータ / ピエゾリニアモータ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

最大10 mm/sの速度と50 Nの駆動力を備えた耐久性のあるアプリケーション向けのOEMウォーキングドライブ

■特徴

・10-9 hPaまでの真空に対応 ・耐久性に優れたPICMA®テクノロジー採用の産業用堅牢ウォーキングドライブ ・このサイズで最も高速かつ強力なドライブ ・最大5kgの荷重の正確なナノメートル精密位置決め ・PI独自のコントローラー技術により、プラグアンドプレイが可能 概要

■高度な真空アプリケーションに適しています

N-331.xxU PICMAWalkウォーキングドライブは真空対応設計されています。ドライブの特別なバージョンは、強い磁場での動作に利用できます。ピエゾウォーキングドライブは、クリーンルームや紫外線の強い環境でも使用できます。

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べて最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。

■ピエゾウォークウォーキングドライブによるナノメートルの精度と高い送り力®

いくつかのピエゾアクチュエータは、PiezoWalk®ウォーキングドライブで歩行動作を実行し、ランナーの前方フィードにつながります。アクチュエータの制御により、1ナノメートルをはるかに下回る分解能で最小のステップとフォワードフィードモーションが可能になります。

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

非接触光学エンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響を与えません。

■応用分野

強磁場中および真空中での運動/産業用精密位置決め/半導体技術/半導体テスト/ウェーハ検査/リトグラフ/ナノインプリント/ナノ計測

  • シリーズ

    N-331 UHV 真空対応アクチュエータ / ピエゾリニアモータ

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N-331 UHV 真空対応アクチュエータ / ピエゾリニアモータ 品番2件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 駆動軸 移動範囲 オープンループ X (アナログモード) の移動範囲 最大速度 (X) (無負荷) フルステップモードでの動作周波数 システム解像度 分解能、オープンループ 最小増分モーション 動作電圧 ドライブの種類 正の運動方向への駆動力 負の運動方向への駆動力 保持力、パッシブ X方向に質量を移動、無負荷 全体の質量 材料 使用温度範囲 コネクタ ケーブル長 推奨コントローラ 真空クラス
N-331 UHV 真空対応アクチュエータ / ピエゾリニアモータ-品番-N-331.20U

N-331.20U

要見積もり

X

55 mm

20 μm

10 mm/s

0.6 kHz

4 nm

0.02 nm

0.01 µm

-20 ~ 120

ピクマワーク

50 N

50 N

60 N

140 g

610 g

アルミニウム、ステンレス鋼

0~50 ℃

LEMO FGJ.2B.319.CLLD52

1 m

E-712.1AN • E-712.2AN • E 712.3AN

10^-9 hPa

- -
N-331 UHV 真空対応アクチュエータ / ピエゾリニアモータ-品番-N-331.24U

N-331.24U

要見積もり

X

55 mm

20 μm

10 mm/s

0.6 kHz

4 nm

0.02 nm

0.01 µm

-20 ~ 120

ピクマワーク

50 N

50 N

60 N

140 g

610 g

アルミニウム、ステンレス鋼

0~50 ℃

LEMO FGJ.2B.319.CLLD52

1 m

E-712.1AN • E-712.2AN • E 712.3AN

10^-9 hPa

50 mm

インクリメンタルリニアエンコーダ

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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