N-331 UHV 真空対応アクチュエータ / ピエゾリニアモータ ピーアイ・ジャパン株式会社
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この製品について
■特徴
・10-9 hPaまでの真空に対応 ・耐久性に優れたPICMA®テクノロジー採用の産業用堅牢ウォーキングドライブ ・このサイズで最も高速かつ強力なドライブ ・最大5kgの荷重の正確なナノメートル精密位置決め ・PI独自のコントローラー技術により、プラグアンドプレイが可能 概要■高度な真空アプリケーションに適しています
N-331.xxU PICMAWalkウォーキングドライブは真空対応設計されています。ドライブの特別なバージョンは、強い磁場での動作に利用できます。ピエゾウォーキングドライブは、クリーンルームや紫外線の強い環境でも使用できます。■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べて最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。■ピエゾウォークウォーキングドライブによるナノメートルの精度と高い送り力®
いくつかのピエゾアクチュエータは、PiezoWalk®ウォーキングドライブで歩行動作を実行し、ランナーの前方フィードにつながります。アクチュエータの制御により、1ナノメートルをはるかに下回る分解能で最小のステップとフォワードフィードモーションが可能になります。■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定
非接触光学エンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響を与えません。■応用分野
強磁場中および真空中での運動/産業用精密位置決め/半導体技術/半導体テスト/ウェーハ検査/リトグラフ/ナノインプリント/ナノ計測-
シリーズ
N-331 UHV 真空対応アクチュエータ / ピエゾリニアモータ
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取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
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N-331 UHV 真空対応アクチュエータ / ピエゾリニアモータ 品番2件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 駆動軸 | 移動範囲 オープンループ | X (アナログモード) の移動範囲 | 最大速度 (X) (無負荷) | フルステップモードでの動作周波数 | システム解像度 | 分解能、オープンループ | 最小増分モーション | 動作電圧 | ドライブの種類 | 正の運動方向への駆動力 | 負の運動方向への駆動力 | 保持力、パッシブ | X方向に質量を移動、無負荷 | 全体の質量 | 材料 | 使用温度範囲 | コネクタ | ケーブル長 | 推奨コントローラ | 真空クラス | 移動範囲 | 統合センサー |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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N-331.20U |
要見積もり | X | 55 mm | 20 μm | 10 mm/s | 0.6 kHz | 4 nm | 0.02 nm | 0.01 µm | -20 ~ 120 | ピクマワーク | 50 N | 50 N | 60 N | 140 g | 610 g | アルミニウム、ステンレス鋼 | 0~50 ℃ | LEMO FGJ.2B.319.CLLD52 | 1 m | E-712.1AN • E-712.2AN • E 712.3AN | 10^-9 hPa | - | - | |
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N-331.24U |
要見積もり | X | 55 mm | 20 μm | 10 mm/s | 0.6 kHz | 4 nm | 0.02 nm | 0.01 µm | -20 ~ 120 | ピクマワーク | 50 N | 50 N | 60 N | 140 g | 610 g | アルミニウム、ステンレス鋼 | 0~50 ℃ | LEMO FGJ.2B.319.CLLD52 | 1 m | E-712.1AN • E-712.2AN • E 712.3AN | 10^-9 hPa | 50 mm | インクリメンタルリニアエンコーダ |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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