3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニングステージ-P-561.3CD

3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニングステージ
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3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム

■特徴・X 軸と Y 軸の平行運動学により、応答時間が短縮され、多軸精度が向上します
・移動範囲300x300x300μm
・静電容量センサーによる最高の直線性
・ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
・優れたスキャニング平坦度
・ハイダイナミクスなXYZバージョンをご用意
・有効開口部66 mmx66mm
・PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
・UHVバージョン10-9hPa

概要
■応用分野走査型顕微鏡検査/干渉計/マスク.ウエハー位置決め/計測技術/バイオテクノロジー/ スキャニングとスクリーニング

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供します。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度フレクシャガイドは、メンテナンス,摩擦摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します。

■自動構成と高速コンポーネント交換メカニックとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、迅速に交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのDサブコネクタのIDチップに保存されます。

■並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。軸間の望ましくないクロストークは、リアルタイムでアクティブに補正 (アクティブガイド) できます (帯域幅によって異なります) 。動的動作でもナノメートル範囲で高いトラッキング精度を実現します。

型番
この商品には7種類の型番があります

シリーズ
3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニングステージ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

精密ステージ

ステージ

位置決めステージ

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3軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561・P-562・P-563 PIMars ナノポジショニングステージ品番7件

フィルター

品番	価格 (税抜)	クローズドループ 100 × 100 × 100 µm 200 × 200 × 200 µm 300 × 300 × 300 µm 45x45x15 µm直接駆動	内蔵センサー	移動範囲 (-20~120V) オープンループ時 150 × 150 × 150 μm 300 × 300 × 300 μm 340 × 340 × 340 μm 58 × 58 × 18 μm	移動範囲 (クローズドループ時) 0.8 μm 1 μm 2 μm 0.2 μm	Z軸分解能 (オープンループ時) 0.2 nm 0.4 nm 0.5 nm 0.1 nm	リニアリティエラー (θX,θY) 0.03 % 0.01 %	再現性X、Y、Z 2 / 2 / 2 nm 2 / 2 / 4 nm	ピッチング (X、Y) ±1 µrad ±2 µrad ±3 µrad	クロストークθX,θY (Z方向へ動作時) ±15 µrad ±20 µrad ±25 µrad ±3 µrad	ヨーイング (X,Y) ±6 µrad ±10 µrad ±3 µrad	平坦度 (X、Y) ±15 nm ±20 nm ±25 nm ±10 nm	クロストーク (X、Y) (Z方向へ動作時) ±30 nm ±50 nm ±20 nm	無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) 190 / 190 / 380 Hz 160 / 160 / 315 Hz 140 / 140 / 250 Hz 920 / 920 / 1050 Hz	共振周波数@330g (X,Y,Z) 140 / 140 / 300 Hz 130 / 130 / 195 Hz 110 / 110 / 170 Hz 500 / 500 / 470 Hz	負荷容量	ピエゾセラミック	電気容量 (X,Y,Z) 5.2 / 5.2 / 10.4 µF 7.4 / 7.4 / 14.8 µF 38 / 38 / 6 µF	動作温度範囲	材料	質量 1.45 kg 1.55 kg	センサー/ボルト接続	推奨コントローラ	共振周波数@100g (X,Y,Z) 145 / 145 / 275 Hz 120 / 120 / 215 Hz 860 / 860 / 950 Hz
P-561.3CD	要見積もり	100 × 100 × 100 µm	静電容量	150 × 150 × 150 μm	0.8 μm	0.2 nm	0.03 %	2 / 2 / 2 nm	±1 µrad	±15 µrad	±6 µrad	±15 nm	±30 nm	190 / 190 / 380 Hz	140 / 140 / 300 Hz	5 kg	PICMAPICM A P-885	5.2 / 5.2 / 10.4 µF	-20~80 ℃	アルミニウム	1.45 kg	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル	E-503, E-505, E621,E-712 , E-727	-
P-561.3CL	要見積もり	100 × 100 × 100 µm	静電容量	150 × 150 × 150 μm	0.8 μm	0.2 nm	0.03 %	2 / 2 / 2 nm	±1 µrad	±15 µrad	±6 µrad	±15 nm	±30 nm	190 / 190 / 380 Hz	140 / 140 / 300 Hz	5 kg	PICMAPICM A P-885	5.2 / 5.2 / 10.4 µF	-20~80 ℃	アルミニウム	1.45 kg	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル	E-503, E-505, E621,E-712 , E-727	-
P-562.3CD	要見積もり	200 × 200 × 200 µm	静電容量	300 × 300 × 300 μm	1 μm	0.4 nm	0.03 %	2 / 2 / 4 nm	±2 µrad	±20 µrad	±10 µrad	±20 nm	±50 nm	160 / 160 / 315 Hz	130 / 130 / 195 Hz	5 kg	PICMAPICM A P-885	7.4 / 7.4 / 14.8 µF	-20~80 ℃	アルミニウム	1.45 kg	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル	E-503, E-505, E621,E-712 , E-727	145 / 145 / 275 Hz
P-562.3CL	要見積もり	200 × 200 × 200 µm	静電容量	300 × 300 × 300 μm	1 μm	0.4 nm	0.03 %	2 / 2 / 4 nm	±2 µrad	±20 µrad	±10 µrad	±20 nm	±50 nm	160 / 160 / 315 Hz	130 / 130 / 195 Hz	5 kg	PICMAPICM A P-885	7.4 / 7.4 / 14.8 µF	-20~80 ℃	アルミニウム	1.45 kg	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル	E-503, E-505, E621,E-712 , E-727	145 / 145 / 275 Hz
P-563.3CD	要見積もり	300 × 300 × 300 µm	静電容量	340 × 340 × 340 μm	2 μm	0.5 nm	0.03 %	2 / 2 / 4 nm	±2 µrad	±25 µrad	±10 µrad	±25 nm	±50 nm	140 / 140 / 250 Hz	110 / 110 / 170 Hz	5 kg	PICMAPICM A P-885	7.4 / 7.4 / 14.8 µF	-20~80 ℃	アルミニウム	1.45 kg	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル	E-503, E-505, E621,E-712 , E-727	120 / 120 / 215 Hz
P-563.3CL	要見積もり	300 × 300 × 300 µm	静電容量	340 × 340 × 340 μm	2 μm	0.5 nm	0.03 %	2 / 2 / 4 nm	±2 µrad	±25 µrad	±10 µrad	±25 nm	±50 nm	140 / 140 / 250 Hz	110 / 110 / 170 Hz	5 kg	PICMAPICM A P-885	7.4 / 7.4 / 14.8 µF	-20~80 ℃	アルミニウム	1.45 kg	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル	E-503, E-505, E621,E-712 , E-727	120 / 120 / 215 Hz
P-561.3DD	要見積もり	45x45x15 µm直接駆動	静電容量	58 × 58 × 18 μm	0.2 μm	0.1 nm	0.01 %	2 / 2 / 2 nm	±3 µrad	±3 µrad	±3 µrad	±10 nm	±20 nm	920 / 920 / 1050 Hz	500 / 500 / 470 Hz	5 kg	PICMAPICM A P-885	38 / 38 / 6 µF	-20~80 ℃	アルミニウム	1.55 kg	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル	E-503, E-505, E621,E-712 , E-727	860 / 860 / 950 Hz

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■特徴

■応用分野

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

■ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

■自動構成と高速コンポーネント交換

■並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度

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P-561.3CD

P-561.3CL

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