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A-10x リニアエアベアリングモジュール-A-101
A-10x リニアエアベアリングモジュール-ピーアイ・ジャパン株式会社

A-10x リニアエアベアリングモジュール
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■製品特徴

・スキャンアプリケーションや高解像度の位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズは300 mm×300 mm ・移動距離は1mまで ・耐荷重は775kgまで ・真直度/平坦度は25mm当たり0.5μmまで ・ピッチ/ロール/ヨー25mm当たり1.2μrad

■製品説明

PIglide RBシリーズのリニア エア ベアリングは、スムーズで正確な直線運動を必要とする用途に最適です。エア ベアリング モジュールはボール ガイドやクロス ローラー ガイドに代わるもので、統合が簡単です。特に100mmを超える移動範囲において、ボール ガイドを備えたステージ ユニットと比較して、真直度、角度偏差、再現性が向上します。 エアベアリングは基本的に摩擦がないため、最大負荷がかかっている場合でも、アプローチ中や動作中にスティクションを発生させることなく機能します。エアベアリングは精製空気を使用することで非接触で動作し、実質的にメンテナンスや摩耗が不要です。

■付属品とオプション

・空気準備キット ・取り付け脚 ・リクエストに応じてカスタム構成も可能 ・1つのガイド上の複数のモーションプラットフォーム ・移動ガイドを備えた構造 指定された負荷容量は、80psi (550kPa) の動作圧力を想定しています。代替動作圧力については、PIに問い合わせて他の負荷容量を決定してください。精度の仕様は、ベアリングにかかる​​荷重、方向、外力によって異なります。アプリケーション固有のパラメータについては、PIにお問い合わせください。

  • シリーズ

    A-10x リニアエアベアリングモジュール

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A-10x リニアエアベアリングモジュール 品番9件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 真直度・平面度/μm 真直度/平面度、25mm移動範囲あたり/μm 位置の安定性/μm ピッチ/ヨー、25mm移動範囲あたり/μrad ピッチ/ヨー、全体/μrad 使用圧力/psi 空気消費量/SCFM 空気の質 材料
A-10x リニアエアベアリングモジュール-品番-A-101

A-101

要見積もり

50×50

50から200

130

75

300mmまで:±1.25
600mmまで:±2.5
1000mmまで:±5

300mmまで:±0.25
600mmまで:±0.25
1000mmまで:±0.25

300mmまで:±0.05
600mmまで:±0.05
1000mmまで:±0.05

300mmまで:1.2
600mmまで:1.2
1000mmまで:1.2

300mmまで:10
600mmまで:20
1000mmまで:30

公称80 (550kPa)

<1.0 (28SLPM)

クリーン (1.0μm以上のフィルタリング) -ISO8573‑1クラス1
オイルフリー-ISO8573‑1クラス1
ドライ (露点-15℃) -ISO8573‑1クラス3

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール製取り付け金具

A-10x リニアエアベアリングモジュール-品番-A-102

A-102

要見積もり

50×100

50から300

260

260

300mmまで:±1.25
600mmまで:±2.5
1000mmまで:±5

300mmまで:±0.25
600mmまで:±0.25
1000mmまで:±0.25

300mmまで:±0.05
600mmまで:±0.05
1000mmまで:±0.05

300mmまで:1.2
600mmまで:1.2
1000mmまで:1.2

300mmまで:10
600mmまで:20
1000mmまで:30

公称80 (550kPa)

<1.0 (28SLPM)

クリーン (1.0μm以上のフィルタリング) -ISO8573‑1クラス1
オイルフリー-ISO8573‑1クラス1
ドライ (露点-15℃) -ISO8573‑1クラス3

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール製取り付け金具

A-10x リニアエアベアリングモジュール-品番-A-103

A-103

要見積もり

75×75

50から300

350

195

300mmまで:±1.25
600mmまで:±2.5
1000mmまで:±5

300mmまで:±0.25
600mmまで:±0.25
1000mmまで:±0.25

300mmまで:±0.05
600mmまで:±0.05
1000mmまで:±0.05

300mmまで:1.2
600mmまで:1.2
1000mmまで:1.2

300mmまで:10
600mmまで:20
1000mmまで:30

公称80 (550kPa)

<1.0 (28SLPM)

クリーン (1.0μm以上のフィルタリング) -ISO8573‑1クラス1
オイルフリー-ISO8573‑1クラス1
ドライ (露点-15℃) -ISO8573‑1クラス3

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール製取り付け金具

A-10x リニアエアベアリングモジュール-品番-A-104

A-104

要見積もり

75×115

50から300

540

540

300mmまで:±1.25
600mmまで:±2.5
1000mmまで:±5

300mmまで:±0.25
600mmまで:±0.25
1000mmまで:±0.25

300mmまで:±0.05
600mmまで:±0.05
1000mmまで:±0.05

300mmまで:1.2
600mmまで:1.2
1000mmまで:1.2

300mmまで:10
600mmまで:20
1000mmまで:30

公称80 (550kPa)

<1.0 (28SLPM)

クリーン (1.0μm以上のフィルタリング) -ISO8573‑1クラス1
オイルフリー-ISO8573‑1クラス1
ドライ (露点-15℃) -ISO8573‑1クラス3

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール製取り付け金具

A-10x リニアエアベアリングモジュール-品番-A-105

A-105

要見積もり

100×100

50から300

630

370

300mmまで:±1.25
600mmまで:±2.5
1000mmまで:±5

300mmまで:±0.25
600mmまで:±0.25
1000mmまで:±0.25

300mmまで:±0.05
600mmまで:±0.05
1000mmまで:±0.05

300mmまで:1.2
600mmまで:1.2
1000mmまで:1.2

300mmまで:10
600mmまで:20
1000mmまで:30

公称80 (550kPa)

<1.0 (28SLPM)

クリーン (1.0μm以上のフィルタリング) -ISO8573‑1クラス1
オイルフリー-ISO8573‑1クラス1
ドライ (露点-15℃) -ISO8573‑1クラス3

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール製取り付け金具

A-10x リニアエアベアリングモジュール-品番-A-106

A-106

要見積もり

100×150

50から600

950

950

300mmまで:±1.25
600mmまで:±2.5
1000mmまで:±5

300mmまで:±0.25
600mmまで:±0.25
1000mmまで:±0.25

300mmまで:±0.05
600mmまで:±0.05
1000mmまで:±0.05

300mmまで:1.2
600mmまで:1.2
1000mmまで:1.2

300mmまで:10
600mmまで:20
1000mmまで:30

公称80 (550kPa)

<1.0 (28SLPM)

クリーン (1.0μm以上のフィルタリング) -ISO8573‑1クラス1
オイルフリー-ISO8573‑1クラス1
ドライ (露点-15℃) -ISO8573‑1クラス3

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール製取り付け金具

A-10x リニアエアベアリングモジュール-品番-A-107

A-107

要見積もり

150×150

50から750

1,580

790

300mmまで:±1.25
600mmまで:±2.5
1000mmまで:±5

300mmまで:±0.25
600mmまで:±0.25
1000mmまで:±0.25

300mmまで:±0.05
600mmまで:±0.05
1000mmまで:±0.05

300mmまで:1.2
600mmまで:1.2
1000mmまで:1.2

300mmまで:10
600mmまで:20
1000mmまで:30

公称80 (550kPa)

<1.0 (28SLPM)

クリーン (1.0μm以上のフィルタリング) -ISO8573‑1クラス1
オイルフリー-ISO8573‑1クラス1
ドライ (露点-15℃) -ISO8573‑1クラス3

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール製取り付け金具

A-10x リニアエアベアリングモジュール-品番-A-108

A-108

要見積もり

200×200

50から1,000

2,950

1,475

300mmまで:±1.25
600mmまで:±2.5
1000mmまで:±5

300mmまで:±0.25
600mmまで:±0.25
1000mmまで:±0.25

300mmまで:±0.05
600mmまで:±0.05
1000mmまで:±0.05

300mmまで:1.2
600mmまで:1.2
1000mmまで:1.2

300mmまで:10
600mmまで:20
1000mmまで:30

公称80 (550kPa)

<1.0 (28SLPM)

クリーン (1.0μm以上のフィルタリング) -ISO8573‑1クラス1
オイルフリー-ISO8573‑1クラス1
ドライ (露点-15℃) -ISO8573‑1クラス3

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール製取り付け金具

A-10x リニアエアベアリングモジュール-品番-A-109

A-109

要見積もり

300×300

50から1,000

7,600

2,210

300mmまで:±1.25
600mmまで:±2.5
1000mmまで:±5

300mmまで:±0.25
600mmまで:±0.25
1000mmまで:±0.25

300mmまで:±0.05
600mmまで:±0.05
1000mmまで:±0.05

300mmまで:1.2
600mmまで:1.2
1000mmまで:1.2

300mmまで:10
600mmまで:20
1000mmまで:30

公称80 (550kPa)

<1.0 (28SLPM)

クリーン (1.0μm以上のフィルタリング) -ISO8573‑1クラス1
オイルフリー-ISO8573‑1クラス1
ドライ (露点-15℃) -ISO8573‑1クラス3

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール製取り付け金具

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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