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ステッピングモーター 回転系 高耐久型自動アライメントステージ HDS-YAW-HDS-60YAW
ステッピングモーター 回転系 高耐久型自動アライメントステージ HDS-YAW-シグマ光機株式会社

ステッピングモーター 回転系 高耐久型自動アライメントステージ HDS-YAW
シグマ光機株式会社

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この製品について

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

■詳細

・試料ごとに微小な回転角度を調整する自動のアライメント装置などの用途に最適です。 ・駆動機構にボールネジを使用することで、部品の磨耗やガタツキを減らし、高耐久性を実現しました。 ・ボールネジによる直線運動をスチールベルトにより回転運動に変換しているため、分解能や回転速度はストロークセンターとストロークエンドとで差が生じることがありません。

  • シリーズ

    ステッピングモーター 回転系 高耐久型自動アライメントステージ HDS-YAW

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ステッピングモーター 回転系 高耐久型自動アライメントステージ HDS-YAW 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) MAXスピード ステージ上面材質 センサ品番 テーブル面サイズ バックラッシ 分解能 Half 分解能 Full モーメント剛性 リミットセンサ ロストモーション 位置決め精度 移動ガイド 移動機構 回転範囲 近接原点センサ 繰返し位置決め精度 原点センサ 最小応答分解能 参考 質量 耐荷重 同心度 表面処理 平行度 面振れ量 センサ 出力論理 センサ 消費電流 センサ 制御出力 センサ 電源電圧 モータ ステップ角 モータ タイプ
ステッピングモーター 回転系 高耐久型自動アライメントステージ HDS-YAW-品番-HDS-60YAW

HDS-60YAW

要見積もり

60°/sec

アルミ

マイクロフォトセンサ GP1S097HCZ (シャープ (株) )

φ60mm

0.05°

約0.0027°/パルス

約0.0053°/パルス

1"/N.cm

有 (NORMAL CLOSE)

0.003°

0.05°

ベアリング方式

ボールネジ+スチールベルト

±5°

0.003°

有 (NORMAL OPEN)

0.5mdeg

0.5kg

29.4N (3.0kgf)

10μm (±5°の範囲内)

黒アルマイト

50μm

0.01mm (±5°の範囲内)

・遮光時 出力トランジスタOFF (非導通) リミットセンサ 
・遮光時 出力トランジスタON (導通) 原点センサ

60mA以下 (1センサあたり20mA以下)

・NPNオープンコレクタ出力
・DC30V以下50mA以下

DC5~24V±10%

0.72°

5相ステッピングモータ 0.75/相 (多摩川精機 (株) )

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回転ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#光学調整 #半導体検査 #計測装置 #精密加工 #研究開発 #組立工程

回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

5.3時間

会社概要

[光ソリューション]その言葉は、シグマ光機には欠かせないものです。
研究開発から生産設備に至るまで、『光』をキーワードに解決する企業です。
シグマ光機は1977年の会社設立以来、レーザ用要素部品をはじめ、...

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  • 本社所在地: 埼玉県
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