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超高真空ゲートバルブ ICF規格-GV114-M
超高真空ゲートバルブ ICF規格-AOV株式会社

超高真空ゲートバルブ ICF規格
AOV株式会社

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この製品について

■製品説明

HTC社の超高真空ゲートバルブは、製品の品質、信頼性およびコストパフォーマンスを確保するために、長期にわたる開発を経てリリースされました。このバルブは、化学的なあるいは微粒子による汚染が発生する半導体製造システムをはじめとする各種用途において、安定して機能します。

■特徴

ICF接続フランジを備え、真空度が10-8Paの超高真空アプリケーション向けに設計されています。従来のバイトンOリングの代わりにOFHC (無酸素高導電銅) ガスケットを使用しており、ベーキング許容温度が200℃と高いため、アウトガスの低減が求められる用途などに適しています。サイズバリエーションは、手動式3種類、圧空式3種類を提供しています。

  • シリーズ

    超高真空ゲートバルブ ICF規格

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超高真空ゲートバルブ ICF規格 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) メーカー 開閉方式 接続フランジ 仕様圧力範囲
超高真空ゲートバルブ ICF規格-品番-GV114-M

GV114-M

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HTC

手動

ICF114

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AOV株式会社

  • 本社所在地: 神奈川県

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