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大型真空乾燥炉-大型真空乾燥炉
大型真空乾燥炉-株式会社シィアイテクノ

大型真空乾燥炉
株式会社シィアイテクノ

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この製品について

■概要

上扉の開閉補助装置 (キャップバランサー) を取付けた、JIS500Aサイズ等の大型真空乾燥炉を製作いたします。

■特徴

・JIS500Aサイズ (内径約φ500) の大型真空槽 (JIS300Aサイズでの対応も可) ・Φ300のSiウェハを搭載できるヒータテーブルを内装 ・約70kgの上扉を片手で操作できる開閉補助機構 (キャップバランサー) を搭載 ・乾燥温度100℃～200℃の加熱ヒータを内装 ・オプションで真空排気システムとの接続可 ・ICF70ポート (3か所) へ電流導入端子・リークバルブ等任意の真空部品を取付け可 ・通常納期は、ご注文後2.5～3か月

■参考価格帯 (税別)

1式、￥4,000,000～￥5,000,000

  • シリーズ

    大型真空乾燥炉

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大型真空乾燥炉 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 到達真空度 ヒータ電源 真空乾燥炉の設置スペース 総重量
大型真空乾燥炉-品番-大型真空乾燥炉

大型真空乾燥炉

¥4,000,000

10Pa以下/5分以内 (排気能力16L/minのスクロールポンプ接続時)

AC100V、1kW

約870 (W) ×640 (D) ×410 (H)

約250kg

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真空炉をフィルターから探すことができます

使用用途

#焼結 #ろう付け #焼鈍 #焼戻し #焼入れ #浸炭 #応力除去 #乾燥 #脱ガス #脱泡

最高温度 ℃

600 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,400

常用温度 ℃

500 - 600 600 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,200

到達真空度 Pa

0 - 0.1 0.1 - 10 10 - 100 100 - 150

加熱方式

輻射加熱 直接通電 抵抗加熱

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