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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対象基板サイズ | 装置寸法 | 重量 | 吸着テーブル | カップ外形 | 回転数 | 制御方法 | インターロック |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
小型卓上スピンコーター |
要見積もり |
10~50mm (2インチウエハ) |
140w×205d×195h (mm) |
3.5kg |
材質 (デルリン) /真空吸着 (真空ポンプ内蔵) |
Φ130mm (材質：SUS) |
8,000rpm (MAX) |
加速時間・回転数・保持時間・減速時間 |
安全蓋・停止ボタン |
