高精度3D形状測定白色干渉エリアスキャンカメラ heliInspect-heliInspect H8 / H8M

高精度3D形状測定白色干渉エリアスキャンカメラ heliInspect
株式会社リンクス

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この製品について

非接触方式で最も精度の高い計測原理である白色干渉法を用いた3次元エリアセンサーカメラです。
センサ一つ一つが高度な演算処理を行うことができる独自のCMOSセンサーにより非接触で高精度かつ高速な3次元計測が可能です。
ワンショットあたり数100ミリ秒でナノオーダーの3次元計測を行い、顕微鏡や接触式と同等レベルの測定をインライン検査に活用することが可能です。

■特徴・非接触で高精度計測
heliInspectはサブミクロンの高精度計測を可能とする白色干渉を原理とした3次元センサーです。H8シリーズでは数十nm精度で高さを計測します。

・高速な3次元計測
ワンショットあたり0.5秒程度でナノオーダーの3次元計測が可能です。素子内で超高速データ処理を行うセンサーにより、白色干渉計の精度をそのままに劇的な計測時間の短縮を実現しています。

・幅広い用途
通常の画像処理では困難であった透明な液面やガラス、反射率の高い鏡面対象物の表面も正確に計測することが可能です。はんだボールの形状検査、コプラナリティ検査、レンズ表面形状検査、膜厚検査など、幅広い分野に応用できます。

・小型で組込みも容易
heliInspectは超高速センサー、光源および光学系を、小型モジュールにパッケージングしたものです。堅牢で設置が容易なため、研究開発やインラインでの全数検査など、様々な用途に手軽に利用することができます。

型番
この商品には4種類の型番があります

シリーズ
高精度3D形状測定白色干渉エリアスキャンカメラ heliInspect

取扱企業
株式会社リンクス

カテゴリ

センサー

3Dセンサー

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高精度3D形状測定白色干渉エリアスキャンカメラ heliInspect 品番4件

フィルター

品番	価格 (税抜)	水平分解能 (µm) 40 ・H8：0.24、0.48、1.2、2.4、3、6、12 ・H8M：0.12、0.24、0.6、1.2、1.5、3、6 ・H9：0.24、0.48、1.2、2.4、3、6、12 ・H9M：4、6、8、12、15、24 0.8、2、4、5、10、20	視野 (mm) 0.13 × 0.12、0.26 × 0.25、0.65 × 0.61、1.3 × 1.2、1.6 × 1.5、3.2 × 3.1、6.5 × 6.1 4.10 × 4.35、6.14 × 6.53、8.19 × 8.70、12.29 × 13.06、15.36 × 16.32、24.58 × 26.11 0.22 × 0.23、0.56 × 0.58、1.12 × 1.17、1.4 × 1.45、2.8 × 2.9、5.6 × 5.8 11.2 × 11.7	レンズ倍率 100x、50x、20x、10x、8x、4x、2x 3x、2x、1.5x、1x、0.8x、0.5x	WD (mm) 16.0 2 (Nikon) 、3.4 (Nikon) 2.5 (Leica) 、4.7 (Nikon) 3.6 (Leica) 、7.4 (Nikon) 3.6 (Leica) 、12.8、42.9、43 ・タイプS：49、49、51、51、51、51 ・タイプL：110、113、113、113 2.52、3.57、3.57、14.1、55.8、56.6	Zステージエンコーダ分解能 20nm (標準モデル) 、1nm (高精度モデル) 100nm	本体サイズ H254mm x W100mm x D58mm ・タイプS：H300mm x W216mm x D116mm (外付けZステージ含む) ・タイプL：H342mm x W221mm x D116mm (外付けZステージ含む) H147mm x W75mm x D45mm H197mm x W90mm x D48mm	ソフトウェア
heliInspect H8 / H8M	要見積もり	・H8：0.24、0.48、1.2、2.4、3、6、12 ・H8M：0.12、0.24、0.6、1.2、1.5、3、6	0.13 × 0.12、0.26 × 0.25、0.65 × 0.61、1.3 × 1.2、1.6 × 1.5、3.2 × 3.1、6.5 × 6.1	100x、50x、20x、10x、8x、4x、2x	2 (Nikon) 、3.4 (Nikon) 2.5 (Leica) 、4.7 (Nikon) 3.6 (Leica) 、7.4 (Nikon) 3.6 (Leica) 、12.8、42.9、43	20nm (標準モデル) 、1nm (高精度モデル)	H254mm x W100mm x D58mm	組込み用SDK (HALCON, C++, LabView, Python)
heliInspect H9 / H9M	要見積もり	・H9：0.24、0.48、1.2、2.4、3、6、12 ・H9M：4、6、8、12、15、24	4.10 × 4.35、6.14 × 6.53、8.19 × 8.70、12.29 × 13.06、15.36 × 16.32、24.58 × 26.11	3x、2x、1.5x、1x、0.8x、0.5x	・タイプS：49、49、51、51、51、51 ・タイプL：110、113、113、113	100nm	・タイプS：H300mm x W216mm x D116mm (外付けZステージ含む) ・タイプL：H342mm x W221mm x D116mm (外付けZステージ含む)	組込み用SDK (HALCON, C++, LabView, Python)
heliInspect H6	要見積もり	0.8、2、4、5、10、20	0.22 × 0.23、0.56 × 0.58、1.12 × 1.17、1.4 × 1.45、2.8 × 2.9、5.6 × 5.8	-	2.52、3.57、3.57、14.1、55.8、56.6	100nm	H147mm x W75mm x D45mm	組込み用SDK (HALCON, C++, LabView, Python)
heliInspect H4	要見積もり	40	11.2 × 11.7	-	16.0	100nm	H197mm x W90mm x D48mm	組込み用SDK (HALCON, C++, LabView, Python)