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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 搬送ワーク | ワークサイズ | 搬送方式 | 搬送枚数 | 駆動方式：閉方向 | 駆動方式：開方向 | 動作ストローク | 把持力 | クリーン度 | フォーク材質 | 駒・仮受け座・パッド | 本体質量 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
WHA-200AS |
要見積もり |
ウエハ |
Φ200 |
エッジクランプ |
1枚 |
スプリング (クランプ方式) |
バキューム圧 －60~－95kPa (負圧シリンダ採用) |
10mm (クランプ7mm、クランプ代3mm) |
3.5N |
FED規格 クラス1 (吸引要) |
CFRP |
PEEK |
約0.55kg |
開閉確認センサ |
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最大負荷質量 g
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000繰り返し精度 mm
0.01 - 0.03 0.03 - 0.05 0.05 - 0.08 0.08 - 0.2サイクルタイム sec
1 - 1.5 1.5 - 2.5 2.5 - 3ストローク mm
0 - 100 100 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,500可搬重量 kg
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20本体質量 kg
0 - 10 10 - 20 20 - 300 300 - 800周囲温度 ℃
0 - 10 10 - 50 50 - 60
