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フーリエ変換赤外分光光度計 ウェーハ反射率測定システム-12インチウェーハ対応自動Yθステージ
フーリエ変換赤外分光光度計 ウェーハ反射率測定システム-日本分光株式会社

フーリエ変換赤外分光光度計 ウェーハ反射率測定システム
日本分光株式会社

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この製品について

ウェーハ中に不純物として含まれる酸素や炭素、窒素は、そのウェーハの性能に大きく影響を与えます。フーリエ変換型赤外分光光度計ウェーハ反射率測定システムは、FT/IRの試料室内に専用のステージを設置することにより最大12インチのウェーハの透過・反射測定を行うことができるシステムです。専用のソフトウェアでマッピング測定を行うこともできます。 ウェーハ反射率測定システムの特長

■非破壊・非接触での評価

赤外光を使用するため、非破壊・非接触で試料の評価を行うことができます。

■高い精度と再現性

日本分光製FT/IRの機能を存分に生かし、高精度、高再現性の測定が可能です。

■各種規格に対応

JEITAやJEIDA等各種規格に対応しています。 ・シリコン中の炭素濃度: JEITA-EM-3503 ・シリコン中の酸素濃度: JEIDA-61-2000 ・シリコン中の窒素濃度: JEITA-EM-3512 ・アモルファスシリコン中の水素濃度 ・シリコン窒化膜中の水素濃度 ソフトウェアの特長

■シリコン中の濃度定量プログラム

シリコン中に含まれる水素や酸素などの濃度を定量するためのプログラムを用意しています。

■ウェーハのマッピング測定

ソフトウェアで設定することにより、マッピング測定を行うことができます。

■測定例

シリコン中の炭素濃度測定：ウェーハ反射率測定システムでは、各規程で定められた検出限界より低濃度の炭素を定量可能です。

  • シリーズ

    フーリエ変換赤外分光光度計 ウェーハ反射率測定システム

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フーリエ変換赤外分光光度計 ウェーハ反射率測定システム 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応機種 測定モード 可動範囲 位置精度 パージ対応 ソフトウェア
フーリエ変換赤外分光光度計 ウェーハ反射率測定システム-品番-12インチウェーハ対応自動Yθステージ

12インチウェーハ対応自動Yθステージ

要見積もり

FT/IR-4000, 6000series

透過・反射測定 (中心入射角15°)

Y方向：0~168mm
θ方向：−180~180°

Y方向：±0.5mm
θ方向：±0.19°

可能

Yθマッピング測定プログラム

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波長範囲 nm

100 - 300 300 - 400 400 - 700 700 - 1,000 1,000 - 1,500

波長精度 nm

0 - 0.3 0.3 - 0.5 0.5 - 1 1 - 1.5 1.5 - 2 2 - 2.5

測光範囲 Abs

-3 - 0 0 - 5 5 - 350

迷光 %T

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日本分光株式会社

会社概要

日本分光株式会社は、赤外分光光度計や紫外可視近赤外分光光度計といった光分析に関する機器や、高速液体や超臨界流体のクロマトグラフなどの製造・販売をしている企業です。 1958年に会社を設立して光分析機器に関する事業を通し...

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