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フローコントロールバルブ FCV-C-FCV-C40
フローコントロールバルブ FCV-C-東フロコーポレーション株式会社

フローコントロールバルブ FCV-C
東フロコーポレーション株式会社

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この製品について

外部の流量計から現在流量情報を受取り、設定した流量に自動制御を行います。半導体洗浄装置の薬液・純水流量管理に最適です。

■特長

・設定流量値と外部からの流量情報を比較しフィードバック制御 ・高性能ステッピングモータ採用&高分解能化処理 ・シリアル通信機能搭載 (ModbusRTU方式、最大32連) ・設定流量値の指示方法選択可能 (アナログ信号入力またはシリアル通信) ・高速な制御応答性 (C40型:約1秒、C60/C80型:約2秒) ・高速なバルブ全開動作 (C40型:約0.3秒、C60/C80型:約1秒)

■型式

FCV- (規格) - (接続口径) - (流量単位) (最大流量) - (アナログ出力方式) (制御流量入力方式) (流量計/モニタ入力) - (特殊項目)

■注意

・各仕様により必要差圧が異なります。 ・使用する流量センサのアナログ信号により本機の最大流量値が制御できない場合があります。

  • シリーズ

    フローコントロールバルブ FCV-C

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フローコントロールバルブ FCV-C 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 規格C40-G08 (接続口径) 規格C40-G08 (制御流量範囲) 規格C40-G10 (接続口径) 規格C40-G10 (制御流量範囲) 規格C60-G15 (接続口径) 規格C60-G15 (制御流量範囲) 規格C80-G20 (接続口径) 規格C80-G20 (制御流量範囲) 流量単位 最大流量 アナログ出力方式 制御流量入力方式 流量計/モニタ入力 制御流量分解能 動力部 制御精度 再現性 安定性 オリフィス径 使用圧力 MPa (G) 必要差圧 MPa 全閉→全開動作 制御動作完了時間 流量センサ部 流量センサ入力 アナログ入出力流量 使用流体 耐圧 使用流体温度 使用環境温度
フローコントロールバルブ FCV-C-品番-FCV-C40

FCV-C40

要見積もり

Tube1/4″ (φ6.35×φ4.35)

15.0~300.0mL/min
25.0~500.0mL/min
50~1,000mL/min
100~2,000mL/min

Tube3/8″ (φ9.53×φ6.33)

25.0~500.0mL/min
50~1,000mL/min
100~2,000mL/min
150~3,000mL/min
500~5,000mL/min

Tube1/2″ (φ12.7×φ9.53)

0.25~5.00L/min
0.50~10.00L/min
0.75~15.00L/min

Tube3/4″ (φ19×φ15.8)

1.00~20.00L/min
1.50~30.00L/min
※順次拡充予定

A:mL/min (C40)
B:L/min (C60/C80)

制御流量範囲よりご選定ください

A:4-20mA
B:1-5V
N:機能なし

A:4-20mA
B:1-5V
F:パラメータ (RS485通信 ModbusRTU)

A:4-20mA
B:1-5V

0.1mL/min (最大流量500mL/min以下)
1mL/min (最大流量500mL/min超える)

ステッピングモータ

指示流量に対して±1% of R.D.
※流量仕様の10%以下:±0.1% of F.S.

±1% of R.D.
※流量仕様の10%以下:±0.1% of F.S.

±2% of R.D.
※流量仕様の10%以下:±0.2% of F.S.

φ3 (15~300、25~500、50~1,000mL/min)
φ5 (100~2,000、150~3,000、500~5,000mL/min)

0.05~0.3 (15~300mL/min)
0.10~0.3 (25~500、50~1,000、100~2,000、150~3,000mL/min)
0.15~0.3 (500~5,000mL/min)

0.05 (15~300mL/min)
0.1 (25~500、50~1,000、100~2,000、150~3,000mL/min)
0.15 (500~5,000mL/min)

約0.3秒

約1秒

無し
※流量コントロール及び流量出力をする場合にはアナログ出力機能付き流量センサが必要。

4-20mA (標準) または1-5V

4mA (1V) :0mL/min
20mA (5V) :制御流量範囲最大値

WATER・薬品

0.5MPa (G) /20℃

10~90℃
※結露なきこと (使用温度により最高圧力が異なります)

15~50℃
※結露なきこと

フィルターから探す

マスフローコントローラをフィルターから探すことができます

制御流量範囲 %F.S

2 - 5 5 - 100

流量精度 %F.S

0 - 1 1 - 2 2 - 5

使用保証温度 ℃

-10 - 0 0 - 50 50 - 60

供給電源電圧消費電流 mA

25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350

耐圧力 MPa(G)

0 - 1 1 - 4 4 - 1,000 1,000 - 2,000

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この商品の取り扱い会社情報

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135.6時間

会社概要

東フロコーポレーション株式会社は、フローコントローラやマスフローコントローラといった流量計の製造販売を主な事業内容とする企業です。 流量計の製造販売のほかには、ラインフィルターや流量センサなどの流体制御機器の製造販売、...

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  • 本社所在地: 東京都
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