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レーザー干渉計測器 1001 Laser Head-1001 Laser Head
レーザー干渉計測器 1001 Laser Head-エヌピイエス株式会社

レーザー干渉計測器 1001 Laser Head
エヌピイエス株式会社

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この製品について

当社はエクセル・プレシジョン (米国EXCELPRECISION社) の日本における販売代理店として、レーザー干渉計機器を取り扱っております。安定化ゼーマンを採用した2周波He-Neレーザー方式と光ヘテロダイン検出/シグナルプロセッサを組合せ、最小読み取り分解能0.3ナノの高精度で信頼性の高い測長変位計測を可能にし、さらに低コスト化のシステム構築が可能です。エクセル・プレシジョン社は独自で設計、製造を行うレーザー干渉計測器のスペシャリストとして業界での地位を確立しており、世界的に5,000台以上の実績があります。標準品のみならず、お客様のご要望に応じオーダーメイドのシステムも製作しています。 EXCELPRECISION1001LaserHeadシリーズは2周波ヘリウムネオンレーザーシステムで、特に光学干渉計と関連する検出・光学ハードウェア用に設計されています。1001レーザーヘッドの主な用途は、ウェーハ/FPDステッパー、電子ビーム装置、I.C.検査製品、バックエンドステッパー、精密測定機、超精密工作機械向けです。レーザーの周波数安定性は、ゼーマン効果の原理を利用することで達成されレーザー管に縦方向の磁場をかけると、ネオンの原子準位が2つのエネルギー準位に分裂します。これら2つの準位の周波数は、基本的に中心波長に対して等間隔であり、印加された磁場の強さに比例してシフトします。 したがって、レーザー管は、磁場の強さに比例した周波数差を持つ2つの周波数で発振しています。これらの2つの周波数は、磁場が印加される前に生成された元の周波数に対して対称的に分離されています。測定中、極めて高い精度と再現性を達成することができます。1001LaserHeadの高い分割周波数により、測定速度は1.0m/secに達します (分解能に依存) 。すべてのエクセル光学製品と互換性があり、最大6軸の測定に対応します (干渉計6個、受光器6個)

  • シリーズ

    レーザー干渉計測器 1001 Laser Head

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レーザー干渉計測器 1001 Laser Head 品番1件

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1001 Laser Head

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使用用途

#表面形状測定 #振動解析 #変位計測 #厚み測定 #波面解析 #材料試験 #光学検査 #半導体製造 #マイクロマシニング #精密加工 #研究開発

測定方式

干渉型 マイケルソン型

使用環境

空気中測定型 真空中測定型 高温測定型 高精度基準型

測定対象

幾何形状測定型 微細な変位測定型 全面測定型

位置決め測定分解能 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3

位置決め測定可能距離 m

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000

位置決め計測精度 ppm

0 - 0.2 0.2 - 0.5

最大移動速度 m/s

0 - 2 2 - 5 10 - 15 15 - 20

光源

VCSEL ファイバーカップルレーザーダイオード ヘリウムネオンレーザー 白12発光ダイオードアレイ 半導体レーザー

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エヌピイエス株式会社

会社概要

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