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シリーズ
ビーム・プラズマ FPD製造用イオン注入装置 iG6 Ver.2取扱企業
日新電機株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ガラス基板サイズ (mm) | ドーパント (イオン種) | イオンビームエネルギー |
|---|---|---|---|---|---|
|
|
iG6 Ver.2 |
要見積もり |
1,500 x 1,800 |
B+、P+ |
10~80 keV |
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イオン注入装置の製品37点中、注目ランキング上位6点
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イオン注入装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #ディスプレイ製造 #パワーデバイス製造 #材料改質加速エネルギー
低エネルギー型 中エネルギー型 高エネルギー型ビーム構造
マルチビーム型 スキャン型特徴
高電流型 高精度型 高真空型 コンパクト型エネルギー keV
0 - 5 5 - 100 100 - 300 300 - 1,000最大ビーム電流 μA
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000硬度Hv Hv
0 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,500摩擦係数
0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.5耐熱温度 ℃
300 - 400 400 - 500
