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ビーム・プラズマ 半導体製造用イオン注入装置 EXCEED9600Aシリーズ-EXCEED9600Aシリーズ
ビーム・プラズマ 半導体製造用イオン注入装置 EXCEED9600Aシリーズ-日新電機株式会社

ビーム・プラズマ 半導体製造用イオン注入装置 EXCEED9600Aシリーズ
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この製品について

■概要

ナノ・テクノロジー・ノードに対応した高い生産性とプロセス信頼性を有した豊富な実績の中電流イオン注入装置 特長

■最適なライン構成に寄与するモデル

高エネルギー注入にも対応するオールラウンダー

■業界最高の生産性

・薄ウェーハ等、多様な基板に対応した搬送システム ・低エネルギービーム量向上 ・平均オートチューン時間＜2分

■市場で実証された注入品質

・エネルギーコンタミネーションの完全除去 ・水平・垂直両方向のビーム角度フィードバックシステム：多点ファラデーシステム

■同一プラットフォーム上での進化

信頼性・プロセス互換性・パーツ互換性を維持した、最少リスクでの性能向上

  • シリーズ

    ビーム・プラズマ 半導体製造用イオン注入装置 EXCEED9600Aシリーズ

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ビーム・プラズマ 半導体製造用イオン注入装置 EXCEED9600Aシリーズ 品番1件

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ビーム・プラズマ 半導体製造用イオン注入装置 EXCEED9600Aシリーズ-品番-EXCEED9600Aシリーズ

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日新電機株式会社は、電力・環境システム事業やビーム・プラズマ事業、装置部品ソリューション事業を行う企業です。 電力・環境システム事業としては、顧客ニーズにあわせて電力エネルギーを活用するソリューションの提供、ガス絶縁開...

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