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サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-NST-D10B3APNA
サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-CKD日機電装株式会社

サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現 高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ
CKD日機電装株式会社

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この製品について

リニアサーボモータを搭載した高精度ステージ サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現

■高性能保証 (オプション)

・速度変動率性能保証 ・ゲイン調整、共振フィルタの設定による高タクト動作の確認等、お客様要求動作仕様の確認と設定 ・レーザー測定補正データを用いた位置決め精度保証お客様装置上での制度保証も可能

■豊富なラインアップ

・X/XYステージを標準ラインアップ ・ダイレクトドライブモータτDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能

■高品質~充実した測定環境体制

・測定室:床面除振構造/ 恒温室:22℃±0.5℃ ・三次元測定器:東京精密社製 ・レーザー測長器:レニショー社製

■ステージ型式

他に、ジャバラ付きもございます。

■共通仕様

設置場所:腐食性ガス、研削油、金属粉、油等の有害な雰囲気の中への設置はしないでください。 ※他にも品番がございます。

  • シリーズ

    サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現 高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ

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サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現 高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ 品番10件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) エンコーダタイプ ロストモーション (エンコーダ分解能) μm 繰返し位置決め精度 (エンコーダ分解能) μm 使用電源 ACV 磁極検出方式 取付方向 周囲条件 温度 周囲条件 湿度 周囲条件 標高 組合せドライバ 美装 テーブル 美装 ベース 平行度B 冷却方法 θ軸オプション
サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-品番-NST-D10B3APNA

NST-D10B3APNA

要見積もり

アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC

100 (130)

10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時)

32.5/7

±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時)

200

アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出

69.5

テーブル水平上向き、水平下向き

22℃±2℃

85%以下 結露なきこと

1,000m以下

3

VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ

50

3

450/204

150/68

主に黒色 低温黒色クロム処理

主に黒色 低温黒色クロム処理

15

自然空冷

θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-品番-NST-D10A3APNA

NST-D10A3APNA

要見積もり

アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC

100 (130)

10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時)

32.5/7

±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時)

200

アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出

69.5

テーブル水平上向き、水平下向き

22℃±2℃

85%以下 結露なきこと

1,000m以下

3

VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ

50

3

450/204

150/68

主に黒色 低温黒色クロム処理

主に黒色 低温黒色クロム処理

15

自然空冷

θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-品番-NST-D20B3APNA

NST-D20B3APNA

要見積もり

アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC

200 (230)

10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時)

37.5/7

±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時)

200

アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出

81.5

テーブル水平上向き、水平下向き

22℃±2℃

85%以下 結露なきこと

1,000m以下

3

VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ

50

3

450/204

150/68

主に黒色 低温黒色クロム処理

主に黒色 低温黒色クロム処理

15

自然空冷

θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-品番-NST-D20A3APNA

NST-D20A3APNA

要見積もり

アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC

200 (230)

10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時)

37.5/7

±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時)

200

アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出

81.5

テーブル水平上向き、水平下向き

22℃±2℃

85%以下 結露なきこと

1,000m以下

3

VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ

50

3

450/204

150/68

主に黒色 低温黒色クロム処理

主に黒色 低温黒色クロム処理

15

自然空冷

θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-品番-NST-D30B4APNA

NST-D30B4APNA

要見積もり

アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC

250 (280)

10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時)

54/9

±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時)

200

アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出

145.5

テーブル水平上向き、水平下向き

22℃±2℃

85%以下 結露なきこと

1,000m以下

5

VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ

100

5

600/261

200/90

主に黒色 低温黒色クロム処理

主に黒色 低温黒色クロム処理

15

自然空冷

θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-品番-NST-D30A4APNA

NST-D30A4APNA

要見積もり

アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC

250 (280)

10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時)

54/9

±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時)

200

アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出

145.5

テーブル水平上向き、水平下向き

22℃±2℃

85%以下 結露なきこと

1,000m以下

5

VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ

100

5

600/261

200/90

主に黒色 低温黒色クロム処理

主に黒色 低温黒色クロム処理

15

自然空冷

θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-品番-NST-D35B4APNA

NST-D35B4APNA

要見積もり

アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC

300 (330)

10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時)

57/9

±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時)

200

アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出

156

テーブル水平上向き、水平下向き

22℃±2℃

85%以下 結露なきこと

1,000m以下

5

VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ

100

5

600/261

200/90

主に黒色 低温黒色クロム処理

主に黒色 低温黒色クロム処理

15

自然空冷

θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-品番-NST-D35A4APNA

NST-D35A4APNA

要見積もり

アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC

300 (330)

10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時)

57/9

±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時)

200

アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出

156

テーブル水平上向き、水平下向き

22℃±2℃

85%以下 結露なきこと

1,000m以下

5

VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ

100

5

600/261

200/90

主に黒色 低温黒色クロム処理

主に黒色 低温黒色クロム処理

15

自然空冷

θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-品番-NST-D50B5APNA

NST-D50B5APNA

要見積もり

アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC

350 (380)

10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時)

60.5/9

±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時)

200

アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出

167.5

テーブル水平上向き、水平下向き

22℃±2℃

85%以下 結露なきこと

1,000m以下

5

VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ

100

5

600/261

200/90

主に黒色 低温黒色クロム処理

主に黒色 低温黒色クロム処理

15

自然空冷

θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

サーボ制御技術との融合により高性能リニアステージを実現  高精度 τリニア XYステージ定格推力68Nタイプ-品番-NST-D40A5APNA

NST-D40A5APNA

要見積もり

アブソリュートエンコーダ レニシュー社製Resolute、インクリメンタルエンコーダ レニショー社製TONiC

350 (380)

10 (5μm時) /2 (1μm時) /1 (0.5μm以下時)

60.5/9

±5 (5μm時) /±1 (1μm時) /±0.5 (0.5μm以下時)

200

アブソリュート時:絶対位置検出/インクリメンタル時:磁極センサ検出

167.5

テーブル水平上向き、水平下向き

22℃±2℃

85%以下 結露なきこと

1,000m以下

5

VPHシリーズ、VCⅡシリーズ/VPHシリーズ

100

5

600/261

200/90

主に黒色 低温黒色クロム処理

主に黒色 低温黒色クロム処理

15

自然空冷

θ軸用ダイレクトドライブモータ、ケーブルキャリアの選択、中継ケーブル長選択、位置決め精度校正システム

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返答率

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返答時間

4.0時間

会社概要

CKD日機電装は1967年の創業以来、駆動システムの専業メーカーとして、駆動システムのコアとなるモータ、サーボドライバ、そしてエンコーダも自社開発・生産しています。

主力製品のダイレクトドライブモータで...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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