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ピエゾステージ チルト (+Z) タイプ-PT3V80F-400S
ピエゾステージ チルト (+Z) タイプ-THKプレシジョン株式会社

ピエゾステージ チルト (+Z) タイプ
THKプレシジョン株式会社



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この製品について

ピエゾ駆動による回転や角度調整が行えます。 角度変位量はわずかながら、高速振動や角度分解能に優れ、光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに最適です。

■弾性ヒンジ機構による回転案内

独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。

■製品応用例

・レーザ光軸調整 ・精密平行面合わせ ・光学デバイス微小角調整 ・チルト調整 ・キャビティ長調整

  • シリーズ

    ピエゾステージ チルト (+Z) タイプ

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ピエゾステージ チルト (+Z) タイプ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大チルト角 移動量 分解能 折り返し位置決め精度 耐荷重 共振周波数 内蔵変位センサ リニアリティ 圧電素子静電容量 剛性 本体
ピエゾステージ チルト (+Z) タイプ-品番-PT3V80F-400S

PT3V80F-400S

要見積もり

・チルト ±400"秒≒0.11°≒1.9mrad
・昇降 100μm

・チルト 0.02"秒≒0.10μrad
・昇降 2nm

・チルト ±0.02"秒≒±0.10μrad
・昇降 ±2nm

10N

・0g負荷時 270Hz
・100g負荷時 230Hz

静電容量式変位センサ

0.2%

2.8μF

・チルト (θx,θy) 390"秒,320"秒/Nm
・昇降 (Z) 1.0μm/N

・質量 1,200g
・材質 鋼
・表面処理 無電解ニッケルメッキ

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回転ステージをフィルターから探すことができます

回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1000 1000 - 2000 2000 - 3000 3000 - 3100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1000 1000 - 5000 5000 - 20000 20000 - 50000 50000 - 200000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

THKプレシジョン株式会社は、2002年に設立された、産業用精密機械装置・機構の開発・製造を行う企業です。 圧電アクチュエータを利用した「超精密位置決め機器」を主力製品にもち、これはナノメートルオーダーでの高精度なポジ...

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  • 本社所在地: 東京都
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