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研究開発用CMP装置 (卓上型)取扱企業
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CMP装置の製品20点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 制御方式 | 操作パネル | プレート径 | 修正リング径 | プレート回転数 | 強制ドライブ駆動 | オシレーション駆動 | スラリー供給系統数 | 加圧方式 | プレート冷却機構 | 所要電源 | 装置寸法 | 重量 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
LM-15ーSⅠ |
要見積もり |
PLCシーケンス |
タッチパネル |
Φ380 |
Φ6インチ |
5rpm~240rpm |
1軸 |
1軸 |
1~3系統 |
加圧シリンダー |
× |
200V 50/60Hz |
W650×D620×H650 |
165kg |