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自動圧力制御機器 (APC) 特殊バルブ 2分割ウイングバルブ ウイングバルブ シリーズ RS/AVR タイプ-RS/AVR タイプ
自動圧力制御機器 (APC) 特殊バルブ 2分割ウイングバルブ ウイングバルブ シリーズ RS/AVR タイプ-フジ・インバック株式会社

自動圧力制御機器 (APC) 特殊バルブ 2分割ウイングバルブ ウイングバルブ シリーズ RS/AVR タイプ
フジ・インバック株式会社

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この製品について

■概要

大口径スロットルバルブ・ウイングシリーズは、大排気量プロセス用の排気系スロットリングバルブとして開発されました。大口径ながらウイングを複数枚にすることで全開時の配管スペースを省略することができ、これにより同径のバタフライ型に比べてコンダクタンスを3倍にすることができます。全閉時にはウイング同士が重なり合うことで、最小のコンダクタンスになります。 またウイングのドライブ機構はシンプルでワイヤーなどは使用せず、ガス溜りもありません。ウイングの枚数は口径によって異なりますが、排気ダクトのデッドスペースを利用した2枚ウイングや、下流側が完全フラットになるものなど、用途に合わせた選択が可能です。 これにより、ウイングバルブ/ゲートバルブ/ターボ分子ポンプを変換アダプターなく重ねあわせることができるため、大幅な省スペースが実現できます。コントローラーは APN30のキャビネット型、RSシリーズのバルブ一体型があります。

■特徴

・シンプルな構造 メンテナンス性、信頼性を重視した構造で、ガス溜りがありません ・省スペース 全開時のための配管が不要で、ウイングバルブ自身の厚さ (30-50mm) で構成できます。 ・広いダイナミックレンジ 全閉時にウイング同士を重ねあわせることにより、最小コンダクタンスを実現します。 ・均一な排気効果 シンメトリックなウイングの動きは、全域にわたり均一な排気効果が得られます ・設置に便利な2種類のタイプ RSタイプ：コントローラー一体型 AVRタイプ：省スペースのコントローラ分離型 ・フラッパーの上部は排気ダクトのデッドスペースを利用 ・フラッパーの下部側は完全フラット ・ゲートバルブまたはターボ分子ポンプに直接マウント ・APN30コントローラで自動圧力制御または開度制御 ・RS内蔵コントローラで自動圧力制御または開度制御 ・メンテナンス性を重視した、シンプルなDD駆動方式

  • シリーズ

    自動圧力制御機器 (APC) 特殊バルブ 2分割ウイングバルブ ウイングバルブ シリーズ RS/AVR タイプ

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会社概要

フジ・インバック株式会社は、1979年に創業した、真空関連製品のメーカーです。 主な事業内容は、真空関連製品の製造です。研究機関で使用するイオン注入装置、真空蒸着装置、真空加熱装置といった真空応用装置や、真空を加熱する...

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