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自動圧力制御機器 (APC) 特殊バルブ 全閉バルブ フルクローズ型スロットルバルブ-フルクローズ型スロットルバルブ
自動圧力制御機器 (APC) 特殊バルブ 全閉バルブ フルクローズ型スロットルバルブ-フジ・インバック株式会社

自動圧力制御機器 (APC) 特殊バルブ 全閉バルブ フルクローズ型スロットルバルブ
フジ・インバック株式会社

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この製品について

■概要

このバルブは、スロットル弁の周囲にO-リングを取り付け、バルブが全閉したときコンダクタンスが限りなくゼロに近くなるように設計された自動圧力コントロールシステムです。通常のスロットル弁では、制御圧力の上限はポンプの排気性能と、弁とバルブの隙間 (最小コンダクタンス) 及び導入ガス量で決まります。 このバルブはガス量を増やすことなく、制御圧力の上限を引き上げる事ができます。また、弁の開度を適切に制御する事により、大気圧からのスロー排気バルブとしての効果も得られます。 NOTE：このバルブは圧力制御の為の最小コンダクタンスを限りなくゼロに近づけるのが目的です。しかし全閉時に完全密閉を保証するものではありません。

■特長

・バルブ/コントローラ一体型APC ・弁の周囲にO-リングを取り付けることで、最小コンダクタンスはゼロになる ・ガス量を増やすことなく、制御圧力の上限を引き上げる ・スロー排気が、簡単にできる ・APN30コントローラで自動圧力制御または開度制御 ・RS内蔵コントローラで自動圧力制御または開度制御 ・メンテナンス性を重視した、シンプルなDD駆動方式

  • シリーズ

    自動圧力制御機器 (APC) 特殊バルブ 全閉バルブ フルクローズ型スロットルバルブ

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