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半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ-エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ-株式会社イワキ

半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
株式会社イワキ

💻 電子・電気機器業界用

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この製品について

■高精度

フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、サックバック (オプション) を取り付けることにより吐出端からのレジストのボタ落ちを防止します。 ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造です。シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能、フォトレジストへの空気混入を防止します。

■軽量・コンパクト設計

ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備 (SB-4K/5/6を除く) 、システム組込みに最適な形状を選択できます。コンパクト設計により、周辺機器のためのスペースも確保します。 さらに1台のポンプで微妙な吐出量をコントロールするメカニカルストッパー付シリンダー、確実な動作確認ができるセンサ付シリンダーも用意しました。

■ステンレス・フッ素樹脂製

接液部材質は、ステンレス (SUS304) タイプとフッ素樹脂 (PTFE, PFA) タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジストなどの液質管理も安心です。

  • シリーズ

    半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用

企業レビュー 4.8

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2025年7月9日にレビュー済み

顧客対応への満足度

こちらの求めている事を判断し、的確な内容で直ぐに返信いただきました。

初回対応までの時間への満足度

8.34時間

Metoree経由で見積もり

2025年6月3日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速な回答、および直接訪問での説明を頂き、満足です。

初回対応までの時間への満足度

0.11時間

Metoree経由で見積もり

2024年11月22日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対面でこちらの疑問点に丁寧に回答いただきました。製品に関する以外も教えていただき、大変満足しました。

初回対応までの時間への満足度

0.06時間

Metoree経由で見積もり

2024年5月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

全体的に対応が迅速で、非常に好印象でした。

初回対応までの時間への満足度

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最新の閲覧: 6時間前


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半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大吐出量 最高吐出圧力範囲 供給エアー圧力範囲 最大エアー消費量 主要材質 液温範囲
半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ-品番-エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ

エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ

要見積もり

100mL/stroke

0.05~0.1MPa

0.15~0.5MPa

1.0NL/stroke

SUS304 / PTFE、PFA

15~25℃

フィルターに該当する他製品

薬注ポンプの中で同じ条件の製品
駆動方式: エア駆動型

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薬注ポンプをフィルターから探すことができます

使用用途

#洗浄 #塩素注入 #医療輸液 #浴場 #半導体プロセス #分注 #液体クロマトグラフィー #分析装置 #プール #高圧薬注

駆動方式

モータ駆動型 電磁駆動型 空気駆動型 手動駆動型

ポンプ機構

ダイヤフラム式 プランジャ式 ペリスタルティック式

制御方式

アナログ制御型 デジタル制御型 パルス制御型

接液部材質

PVC製 SUS製 PTFE製 FFKM PP PVDF PTFE

最大吐出量 mL/min

0 - 20 20 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 60,000

最高吐出圧力 MPa

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 40

流量制御方式

インバータ制御 チューブクランプ制御

電源 V

90 - 100 100 - 200 200 - 250

消費電力 W

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 500

接続口径 mm

4 - 6 6 - 8 8 - 10 10 - 12 12 - 14 14 - 16 18 - 20

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

4.8

会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都

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