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半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ-エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ-株式会社イワキ

半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
株式会社イワキ

💻 電子・電気機器業界用 🧪 化学業界用

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この製品について

■高精度

フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、サックバック (オプション) を取り付けることにより吐出端からのレジストのボタ落ちを防止します。 ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造です。シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能、フォトレジストへの空気混入を防止します。

■軽量・コンパクト設計

ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備 (SB-4K/5/6を除く) 、システム組込みに最適な形状を選択できます。コンパクト設計により、周辺機器のためのスペースも確保します。 さらに1台のポンプで微妙な吐出量をコントロールするメカニカルストッパー付シリンダー、確実な動作確認ができるセンサ付シリンダーも用意しました。

■ステンレス・フッ素樹脂製

接液部材質は、ステンレス (SUS304) タイプとフッ素樹脂 (PTFE, PFA) タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジストなどの液質管理も安心です。

  • シリーズ

    半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用 / 化学業界用

企業レビュー 4.8

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半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大吐出量 最高吐出圧力範囲 供給エアー圧力範囲 最大エアー消費量 主要材質 液温範囲
半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ-品番-エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ

エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ

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100mL/stroke

0.05~0.1MPa

0.15~0.5MPa

1.0NL/stroke

SUS304 / PTFE、PFA

15~25℃

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都
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