半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
株式会社イワキ
この製品について
■高精度
フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注します。レジスト滴下量の最適化のため、1ショット当たりの分注精度を高め、サックバック (オプション) を取り付けることにより吐出端からのレジストのボタ落ちを防止します。 ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造です。シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能、フォトレジストへの空気混入を防止します。■軽量・コンパクト設計
ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備 (SB-4K/5/6を除く) 、システム組込みに最適な形状を選択できます。コンパクト設計により、周辺機器のためのスペースも確保します。 さらに1台のポンプで微妙な吐出量をコントロールするメカニカルストッパー付シリンダー、確実な動作確認ができるセンサ付シリンダーも用意しました。■ステンレス・フッ素樹脂製
接液部材質は、ステンレス (SUS304) タイプとフッ素樹脂 (PTFE, PFA) タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジストなどの液質管理も安心です。-
シリーズ
半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
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取扱企業
株式会社イワキ
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カテゴリ
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利用シーン
電子・電気機器業界用 / 化学業界用
株式会社イワキのレビュー (1件)
4.5Metoree経由で見積もりをしたユーザーからのレビュー
投稿した日時: 2024年5月20日
顧客対応への満足度
顧客対応への満足度の理由
対応が早い。
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0.06時間
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半導体製造プロセスのレジスト塗布工程に最適 エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 最大吐出量 | 最高吐出圧力範囲 | 供給エアー圧力範囲 | 最大エアー消費量 | 主要材質 | 液温範囲 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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エアー駆動ディスペンサー SBシリーズ |
要見積もり | 100mL/stroke | 0.05~0.1MPa | 0.15~0.5MPa | 1.0NL/stroke | SUS304 / PTFE、PFA | 15~25℃ |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
