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半導体プロセス(ウェハー洗浄)用 エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ-FA-2
半導体プロセス(ウェハー洗浄)用 エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ-株式会社イワキ

半導体プロセス(ウェハー洗浄)用 エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ
株式会社イワキ

💻 電子・電気機器業界用

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この製品について

■中温仕様の2タイプ

横型で少流量モデルのFA-2型と、たて型大流量モデルのFA-40VEW型を標準化。FA-2型はスプレー方式の枚葉処理用、FA-40VEW型は200/300mmウェハーの洗浄用に適しています。

■肉厚ベローズ

FA-40VEW型には肉厚のベローズを採用。耐圧性に優れ、長期連続運転にも耐える長寿命設計です。

■センサ駆動方式

ポンプ内蔵の近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。またリークセンサを標準装備しています。

■簡単操作

専用コントローラと接続すれば、吐出量の制御・管理が簡単に行えます。

  • シリーズ

    半導体プロセス(ウェハー洗浄)用 エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ
  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2025年7月9日にレビュー済み

顧客対応への満足度

こちらの求めている事を判断し、的確な内容で直ぐに返信いただきました。

初回対応までの時間への満足度

8.34時間

Metoree経由で見積もり

2025年6月3日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速な回答、および直接訪問での説明を頂き、満足です。

初回対応までの時間への満足度

0.11時間

Metoree経由で見積もり

2024年11月22日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対面でこちらの疑問点に丁寧に回答いただきました。製品に関する以外も教えていただき、大変満足しました。

初回対応までの時間への満足度

0.06時間

Metoree経由で見積もり

2024年5月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

全体的に対応が迅速で、非常に好印象でした。

初回対応までの時間への満足度

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半導体プロセス(ウェハー洗浄)用 エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ 品番2件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 主要材質 液温範囲
半導体プロセス(ウェハー洗浄)用 エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ-品番-FA-2

FA-2

要見積もり

2L/min

0.2~0.4MPa

50NL/min

150spm

PTFE、PFA

5~100℃

半導体プロセス(ウェハー洗浄)用 エアー駆動ベローズポンプ FAシリーズ-品番-FA-40

FA-40

要見積もり

40L/min

0.1~0.4MPa

200NL/min

80spm

PTFE、PFA

5~100℃

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ベローズポンプをフィルターから探すことができます

最大吐出量 L/min

0 - 5 5 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200

最大運転吐出圧力 MPa

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.7

液温範囲 ℃

0 - 100 100 - 200 200 - 300

供給エアー圧力範囲 MPa

0 - 0.2 0.2 - 0.4 0.4 - 0.6 0.6 - 0.8

接続口径 mm

10 - 20 20 - 25 25 - 35

最大到達真空度 kPaG

-90 - -75 -75 - -65 -65 - -55 -55 - -45 -45 - -35 -35 - -10

最大エアー消費量 NL/min

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 700 700 - 1,500

最大ストローク数 spm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

4.8

会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都

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