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Max180℃の高温薬液移送に対応・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2-FS-100HT2
Max180℃の高温薬液移送に対応・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2-株式会社イワキ

Max180℃の高温薬液移送に対応・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2
株式会社イワキ

💻 電子・電気機器業界用

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この製品について

■高温大流量移送

Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。CARO (SPM) やH3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上 (55L/min→100L/min) が見込めます。

■洗浄効率の向上

循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による洗浄時間の増加を抑えることが可能です。

■コンタミフリー

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液移送が可能です。

■約15%の重量低減

部品形状を最適化することにより、当社従来製品 (80~100L/minクラス) の重量に対して、約15%の重量低減を可能としました。 ポンプ設置、交換時の作業者負担を軽減できます。

  • シリーズ

    Max180℃の高温薬液移送に対応・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2
  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用

企業レビュー 4.8

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2025年7月9日にレビュー済み

顧客対応への満足度

こちらの求めている事を判断し、的確な内容で直ぐに返信いただきました。

初回対応までの時間への満足度

8.34時間

Metoree経由で見積もり

2025年6月3日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速な回答、および直接訪問での説明を頂き、満足です。

初回対応までの時間への満足度

0.11時間

Metoree経由で見積もり

2024年11月22日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対面でこちらの疑問点に丁寧に回答いただきました。製品に関する以外も教えていただき、大変満足しました。

初回対応までの時間への満足度

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2024年5月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

全体的に対応が迅速で、非常に好印象でした。

初回対応までの時間への満足度

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Max180℃の高温薬液移送に対応・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大吐出量 供給エアー圧力範囲 最大エアー消費量 最大ストローク数 主要材質 液温範囲
Max180℃の高温薬液移送に対応・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2-品番-FS-100HT2

FS-100HT2

要見積もり

100L/min

0.15~0.5MPa

1,210NL/min

120spm

PTFE、PFA

10~180˚C

フィルターに該当する他製品

ベローズポンプの中で同じ条件の製品
液温範囲: 150 - 200℃

フィルターから探す

ベローズポンプをフィルターから探すことができます

最大吐出量 L/min

0 - 5 5 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200

最大運転吐出圧力 MPa

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.7

液温範囲 ℃

0 - 100 100 - 200 200 - 300

供給エアー圧力範囲 MPa

0 - 0.2 0.2 - 0.4 0.4 - 0.6 0.6 - 0.8

接続口径 mm

10 - 20 20 - 25 25 - 35

最大到達真空度 kPaG

-90 - -75 -75 - -65 -65 - -55 -55 - -45 -45 - -35 -35 - -10

最大エアー消費量 NL/min

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 700 700 - 1,500

最大ストローク数 spm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

4.8

会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都

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