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Max. 100L/minの大流量モデル・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ-FS-Nシリーズ
Max. 100L/minの大流量モデル・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ-株式会社イワキ

Max. 100L/minの大流量モデル・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ
株式会社イワキ

💻 電子・電気機器業界用

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この製品について

■高速ストローク

高速ストローク (Max.200spm:FS-80NT型) で小型・軽量・ローコスト化を実現しています。

■コンタミフリー設計

接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど、金属露出のない設計です。また、弊社独自に開発したシャフトシール (FS-80NT型…PAT.) の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。

■大流量/高圧吐出

供給エアー圧力はMax.0.7MPaまで可能なため高圧・大流量吐出が必要な薬供プロセスはもとより、洗浄・CMPプロセスまで幅広く使用することができます。

■センサ駆動方式

ポンプに内蔵された近接スイッチで電磁弁を切替えるセンサ駆動方式を採用。確実に作動するため、各種コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。

  • シリーズ

    Max. 100L/minの大流量モデル・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ
  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用

企業レビュー

レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです

4.2

評判が良い

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2025年6月3日にレビュー

迅速な回答、および直接訪問での説明を頂き、満足です。

初回返答までの時間・0.11時間

2024年11月22日にレビュー

対面でこちらの疑問点に丁寧に回答いただきました。製品に関する以外も教えていただき、大変満足しました。

初回返答までの時間・0.10時間

2025年7月9日にレビュー

こちらの求めている事を判断し、的確な内容で直ぐに返信いただきました。

初回返答までの時間・8.34時間

2024年5月20日にレビュー

全体的に対応が迅速で、非常に好印象でした。

初回返答までの時間・0.10時間

2025年10月29日にレビュー

昨日問い合わせしましたが、まだ回答ないため、評価は3としました。

初回返答までの時間・0.71時間

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Max. 100L/minの大流量モデル・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大吐出量 供給エアー圧力範囲 最大エアー消費量 最大ストローク数 主要材質 液温範囲
Max. 100L/minの大流量モデル・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給)用 エアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ-品番-FS-Nシリーズ

FS-Nシリーズ

要見積もり

100L/min

0.2~0.7MPa

1,495NL/min

200spm (FS-80N)

PTFE、PFA

5~60℃

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最大吐出量 L/min

0 - 5 5 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200

最大運転吐出圧力 MPa

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.7

液温範囲 ℃

0 - 100 100 - 200 200 - 300

供給エアー圧力範囲 MPa

0 - 0.2 0.2 - 0.4 0.4 - 0.6 0.6 - 0.8

接続口径 mm

10 - 20 20 - 25 25 - 35

最大到達真空度 kPaG

-90 - -75 -75 - -65 -65 - -55 -55 - -45 -45 - -35 -35 - -10

最大エアー消費量 NL/min

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 700 700 - 1,500

最大ストローク数 spm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

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6.3時間


企業レビュー

4.2

会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都
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