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ダンパー不要で低脈動を実現・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ-FLP-60W
ダンパー不要で低脈動を実現・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ-FLP-75W
ダンパー不要で低脈動を実現・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ-株式会社イワキ

ダンパー不要で低脈動を実現・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ
株式会社イワキ

💻 電子・電気機器業界用

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この製品について

■低脈動

独特の駆動メカニズムがポンプ脈動を打ち消す最適な位相にベローズの動きを制御。脈動が極めて少ない運転を実現しています。

■枚葉プロセスに適した優れた負荷追従性

位相制御を行うことで負荷変動時の追従性が向上しました。特に枚葉プロセスなどの圧力変動が頻繁に発生するラインで、その高い負荷追従性により吐出量、吐出圧の安定した運転が実現します。

■ダンパー不要で省スペース

ダンパーの組み込みが必要ないので装置の省スペース化が実現します。配管作業も容易でフッ素樹脂継ぎ手などの高価な配管材を削減可能、装置の小型・軽量化に貢献します。

■安全設計

ベローズ溶接構造によって液洩れを防止し、さらに万一、ベローズが破損しても液漏れを検知するリークセンサを採用しているので、安心してご使用いただけます。

  • シリーズ

    ダンパー不要で低脈動を実現・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ
  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2025年7月9日にレビュー済み

顧客対応への満足度

こちらの求めている事を判断し、的確な内容で直ぐに返信いただきました。

初回対応までの時間への満足度

8.34時間

Metoree経由で見積もり

2025年6月3日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速な回答、および直接訪問での説明を頂き、満足です。

初回対応までの時間への満足度

0.11時間

Metoree経由で見積もり

2024年11月22日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対面でこちらの疑問点に丁寧に回答いただきました。製品に関する以外も教えていただき、大変満足しました。

初回対応までの時間への満足度

0.06時間

Metoree経由で見積もり

2024年5月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

全体的に対応が迅速で、非常に好印象でした。

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ダンパー不要で低脈動を実現・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ 品番2件

フィルター

次の条件に該当する商品を2件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用液温度 最大供給エアー圧力 主要材質 最大移送液粘度
ダンパー不要で低脈動を実現・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ-品番-FLP-60W

FLP-60W

要見積もり

50L/min (供給エアー圧力0.2MPa・清水25℃)

5~100℃ / 101~150℃ / 151~180℃

0.5MPa / 0.4MPa / 0.3MPa

464NL/min

160spm

PTFE、PFA

50mPa·s

φ25mm × φ22mm (PFAチューブ)

- -
ダンパー不要で低脈動を実現・半導体プロセス(ウェハー洗浄/薬液供給/CMPプロセス)用 エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズ-品番-FLP-75W

FLP-75W

要見積もり

92L/min (供給エアー圧力0.3MPa・清水25℃)

5~100℃ / 101~150℃ / 151~180℃

0.5MPa / 0.4MPa / 0.3MPa

647NL/min

150spm

PTFE、PFA

50mPa·s

-

φ31.8mm × φ28.0mm (PFA)
スーパー300タイプ 1-1/4″ユニオンナット、スリーブ付

φ25.4mm × φ22.2mm (PFA)
スーパー300タイプ 1″ユニオンナット、スリーブ付

フィルターに該当する他製品

ベローズポンプの中で同じ条件の製品
最大吐出量: 50 - 100L/min

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ベローズポンプをフィルターから探すことができます

最大吐出量 L/min

0 - 5 5 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200

最大運転吐出圧力 MPa

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.7

液温範囲 ℃

0 - 100 100 - 200 200 - 300

供給エアー圧力範囲 MPa

0 - 0.2 0.2 - 0.4 0.4 - 0.6 0.6 - 0.8

接続口径 mm

10 - 20 20 - 25 25 - 35

最大到達真空度 kPaG

-90 - -75 -75 - -65 -65 - -55 -55 - -45 -45 - -35 -35 - -10

最大エアー消費量 NL/min

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 700 700 - 1,500

最大ストローク数 spm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

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6.4時間


企業レビュー

4.8

会社概要

株式会社イワキは、1956年に設立されたケミカルポンプをはじめとする各種流体制御製品の開発・生産・販売を行うメーカーです。 本社を東京都千代田区に置き、大阪や名古屋、北九州に支店を設けるほか、広島や新潟など各地に営業所を...

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  • 本社所在地: 東京都
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