大幅な省レジスト・コンタミフリー フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R
株式会社イワキ
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この製品について
■大幅な省レジスト
駆動源に高トルクステッピングモータを使用しているため、フィルタの目詰まりや粘度変化によって吐出負荷が増加しても吐出量の減少がほとんどなく、高い吐出量精度を維持します。従って塗布量の設定は必要最小限で済み、レジスト液の使用量を大幅に削減できます。 ・吐出精度：±0.3%以下 (F.S.) ・直線性：±0.5% (F.S.) 注：PDS-105Rの場合 ・分解能：0.01mL以下■コンタミフリー
ポンプ部は内面が平滑でデッドボリュームの少ないチューブフラム構造を採用。レジスト液の滞留部がほとんどなく、パーティクルの発生を防ぎます。■多様なコートプロセスに対応
吐出速度を1ショット内で任意に変えることができるため、微量・短時間塗布など多様なレジストコートプロセスに対応可能です。■ダウンタイムの短縮
内蔵の圧力センサ (オプション) で吐出圧力をモニタリングすることにより、フィルタの交換時期が管理できます。また、吐出量・吐出時間の設定は、コントローラへの数値入力のみでOK。オペレータの手間がかからず、ダウンタイムの短縮が図れます。-
シリーズ
大幅な省レジスト・コンタミフリー フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R
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取扱企業
株式会社イワキ
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カテゴリ
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利用シーン
電子・電気機器業界用
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大幅な省レジスト・コンタミフリー フォトレジストディスペンスポンプ PDS-105R 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 吐出量 | 最高吐出速度 | 吸込速度 | 最高吐出圧力 | 繰返し精度 | 最高取扱い液粘度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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PDS-105R |
要見積もり | 5.0mL/shot | 0.1~4.0mL/sec | 0.1~3.0mL/sec | 0.15MPa | ±0.3%以下 (F.S.) | 200mPa·s |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
