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超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ-LFC7000シリーズ
超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ-ファーストゲート株式会社

超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ
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この製品について

■LFC-7000シリーズ

一定量の気体を含む流体でも高精度な流量制御が可能な超音波式流量コントローラー 高速・高精度のモーターがバルブ(ピンチorダイアフラム)を制御しオーバーシュートを最小限に抑え、安定した制御をご提供いたします。 【 仕様 】 ◆接液部材質 ： PFA、PTFE ◆流量レンジ ： 50 ～ 12,000ml/min ◆適合温度　 ： 10 ～ 60℃(50 ～ 140℉) ◆再現性　　 ： ±1% of set point or ±1,L/min (いずれか大きい方) ◆精度　　　 ： ±1% of set point or ±3mL/min (いずれか大きい方)*R.T DIWの場合

  • シリーズ

    超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ

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超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 接液部材質 最大測定流量 アナログ出力モジュール 適用温度 プロセスとの接続 メーカー名
超音波式液体流量コントローラー LFC-7000シリーズ-品番-LFC7000シリーズ

LFC7000シリーズ

要見積もり

PFA、PTFE

50 ~ 12,000ml/min

0-10Vdc or 4-20mA

10 ~ 60℃

1/4 or 3/8inch

MALEMA

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使用用途

#エネルギー設備 #コーティング #バイオ医薬研究 #研究開発 #製造装置 #排水処理 #半導体製造 #薬液管理

制御方式

PID制御型 ONOFF制御型 比例制御型 自己学習型

表示機能

デジタル表示型 アナログ表示型

構成形態

一体型 分離型

入出力方式

リレー出力型 電圧出力型 電流出力型 SSR出力型

入力レンジ ℃

0 - 200 200 - 1,800

制御動作

AT付PID動作 ブリリアントⅡPID制御 エキスパートPID ON/OFF制御 PID動作 PD動作

サンプリング周期

0.02 0.05 0.1 0.25 0.5

信号源抵抗の影響

0.18 0.2 0.25

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会社概要

ファーストゲート株式会社は「世界でオンリーワン・ナンバーワンのハイエンドな製品をご提供する」をモットーに半導体製造装置における流体制御コンポーネント部品の販売を主な事業内容とする企業です。
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