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超音波式液体流量コントローラー LFC7000シリーズ-LFC7000シリーズ
超音波式液体流量コントローラー LFC7000シリーズ-ファーストゲート株式会社

超音波式液体流量コントローラー LFC7000シリーズ
ファーストゲート株式会社



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この製品について

高速、高精度のモーターがピンチバルブ (スラリー用) やダイアフラムバルブ (化学薬品用) を制御しオーバーシュートを最小限に抑え、高速かつ正確な制御が可能。純水、腐食性の高い化学薬品、CMP研磨スラリー等の薬液制御機器をお探しの方にお勧め。

■【特長】

・半導体製造機器に使用されるすべての薬液に対応 ・被計測流体の特性による調整、設定が不要 ・デジタル信号処理技術により、一定量の気体を含んだ流体に対しても作動し、且つ高精度な測定が可能。

  • シリーズ

    超音波式液体流量コントローラー LFC7000シリーズ

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超音波式液体流量コントローラー LFC7000シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 接液部材質 最大測定流量 アナログ出力モジュール 適用温度 プロセスとの接続 メーカー名
超音波式液体流量コントローラー LFC7000シリーズ-品番-LFC7000シリーズ

LFC7000シリーズ

要見積もり

PFA、PTFE

50 ~ 12,000ml/min

0-10Vdc or 4-20mA

10 ~ 60℃

1/4 or 3/8inch

MALEMA

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入力レンジ ℃

0 - 200 200 - 1,800

制御動作

AT付PID動作 ブリリアントⅡPID制御 エキスパートPID ON/OFF制御 PID動作 PD動作

サンプリング周期

0.02 0.05 0.1 0.25 0.5

信号源抵抗の影響

0.18 0.2 0.25

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

ファーストゲート株式会社は「世界でオンリーワン・ナンバーワンのハイエンドな製品をご提供する」をモットーに半導体製造装置における流体制御コンポーネント部品の販売を主な事業内容とする企業です。
お客様から要望を基にに...

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  • 本社所在地: 東京都
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