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高純度コリオリセンサー流量コントローラー CMFC-5000シリーズ-CMFC5000
高純度コリオリセンサー流量コントローラー CMFC-5000シリーズ-ファーストゲート株式会社

高純度コリオリセンサー流量コントローラー CMFC-5000シリーズ
ファーストゲート株式会社

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この製品について

PFA製コリオリ式流量コントローラです。超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御の実現。発泡性薬液やスラリー制御でお困りの方にお勧め。

■ CMFC5000シリーズ

超音波式では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御が実現可能なコリオリ式流量コントローラー 特許取得済みのコリオリ技術により流体の粘度の変化に影響されず高精度な流量測定をご提供いたします。 【 仕様 】 ◆接液部材質 ： PFA、PTFE ◆流量レンジ ： 5-50g/min ～ 500-5,000g/min ◆適合温度　 ： 18 ～ 50℃(65 ～ 122℉) ◆再現性　　 ： ±0.5% of set point or ±1.5 g/min (いずれか大きい方) ◆精度　　　 ： ±1% of set point or ±3 g/min (いずれか大きい方)*R.T DIWの場合

  • シリーズ

    高純度コリオリセンサー流量コントローラー CMFC-5000シリーズ

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高純度コリオリセンサー流量コントローラー CMFC-5000シリーズ 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) 接液部材質 流量レンジ アナログ出力モジュール 適用温度 プロセスとの接続 メーカー名
高純度コリオリセンサー流量コントローラー CMFC-5000シリーズ-品番-CMFC5000

CMFC5000

要見積もり

PFA、PTFE

5-50g/min ~ 500-5,000g/min

1-10Vdc or 4-20mA

16 ~ 50℃

1/4 or 3/8inch

MALEMA

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使用用途

#エネルギー設備 #コーティング #バイオ医薬研究 #研究開発 #製造装置 #排水処理 #半導体製造 #薬液管理

制御方式

PID制御型 ONOFF制御型 比例制御型 自己学習型

表示機能

デジタル表示型 アナログ表示型

構成形態

一体型 分離型

入出力方式

リレー出力型 電圧出力型 電流出力型 SSR出力型

入力レンジ ℃

0 - 200 200 - 1,800

制御動作

AT付PID動作 ブリリアントⅡPID制御 エキスパートPID ON/OFF制御 PID動作 PD動作

サンプリング周期

0.02 0.05 0.1 0.25 0.5

信号源抵抗の影響

0.18 0.2 0.25

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ファーストゲート株式会社は「世界でオンリーワン・ナンバーワンのハイエンドな製品をご提供する」をモットーに半導体製造装置における流体制御コンポーネント部品の販売を主な事業内容とする企業です。
お客様から要望を基にに...

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  • 本社所在地: 東京都

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