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精密流量制御バルブ Auto Valve
ファーストゲート株式会社



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この製品について

Futurestar社製のオートバルブは洗浄装置、薬液供給装置等あらゆる分野での酸、アルカリ系の水溶液の定量管理、ブレンドアプリケーションに採用されております。独自のスロットオリフィス (米国特許取得) により安定した監視と精密な流量微調整機能を提供します。外部接続の流量計との接続でクローズドループ・フローアプリケーションに使用可能です。

■Auto Valve

バルブ駆動用高精度ステッピングモータと特許を取得したデュアル・ダイアグラム構造との組み合わせにより液体供給を±1%以内にコントロールします。

  • シリーズ

    精密流量制御バルブ Auto Valve

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精密流量制御バルブ Auto Valve 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 供給量 使用材料 使用環境 最高使用薬液温度 入力電圧 メーカー名 オプション

Auto Valve

要見積もり

B-Series 0-3 L/min
M-Series 0-20 L /min

薬液接触面 PTFE、PFA

最大供給圧 65psi 最大排背圧 30psi

65℃

12-30VDC

Futurestar

オートバルブ用コントローラー

フィルターから探す

調節計をフィルターから探すことができます

入力レンジ ℃

0 - 200 200 - 1,800

制御動作

AT付PID動作 ブリリアントⅡPID制御 エキスパートPID ON/OFF制御 PID動作 PD動作

サンプリング周期

0.02 0.05 0.1 0.25 0.5

信号源抵抗の影響

0.18 0.2 0.25

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

ファーストゲート株式会社は「世界でオンリーワン・ナンバーワンのハイエンドな製品をご提供する」をモットーに半導体製造装置における流体制御コンポーネント部品の販売を主な事業内容とする企業です。
お客様から要望を基にに...

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  • 本社所在地: 東京都
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