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精密流量制御バルブ i-Flow
ファーストゲート株式会社

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この製品について

Futurestar社製のオートバルブは洗浄装置、薬液供給装置等あらゆる分野での酸、アルカリ系の水溶液の定量管理、ブレンドアプリケーションに採用されております。独自のスロットオリフィス (米国特許取得) により安定した監視と精密な流量微調整機能を提供します。外部接続の流量計との接続でクローズドループ・フローアプリケーションに使用可能です。

■i-Flow

・AutoValueとカルマン渦流量計、超音波式流量計を統合した小型ループコントローラーです。 ・システム統合により±2%以内での高再現性・高信頼性を提供します。 ・超純水、酸、溶剤等の定量的な混同・吐出・噴霧の制御が可能です。

  • シリーズ

    精密流量制御バルブ i-Flow

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精密流量制御バルブ i-Flow 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 供給量 使用材料 使用環境 最高使用薬液温度 入力電圧 メーカー名 オプション

i-Flow

要見積もり

0.4－4~10－100 L／min
0.05－20.0 L ／min
(レンジ毎に4種類ご用意)

薬液接触面 DualPTFE、PFA

最大供給圧60psi

65℃

4－2mA／24VDC

Futurestar

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ファーストゲート株式会社

会社概要

ファーストゲート株式会社は「世界でオンリーワン・ナンバーワンのハイエンドな製品をご提供する」をモットーに半導体製造装置における流体制御コンポーネント部品の販売を主な事業内容とする企業です。
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