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リニアモータ MML020-MML020
リニアモータ MML020-コアレスモータ株式会社


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この製品について

■概要

半導体製造装置などの超精密業界をサポート。 特徴

■コンパクトでシンプルな構造

ボールネジ駆動方式のような複雑な構造を必要とせず、シンプルなダイレクトドライブ構造となるので、モータ出力の高効率な伝達が可能となります。従来のボールねじ駆動方式は、部品点数が多く、組立や調整が困難でした。コアレスリニアモータ駆動方式はコンパクトでシンプルな構造のため、長時間使用しても安定した性能を発揮出来るのです。

■高精度・高剛性

機械的なバックラッシュ、検出、制御系の誤差や遅れなどの外乱要素を排除する事が可能となり、さらにフルクローズド制御による位置決め時間の短縮、位置決め精度の向上が可能です。 従来のボールねじ駆動方式は、バックラッシュ (運動方向の逆転時に送りねじとナットの間に隙間があることによる機械的なガタ) があり、モータの回転力が機械に正しく伝わらなくなってしまうことや位置決め誤差を作ってしまうことがあります。一方コアレスリニアモータ駆動方式は、左手の法則を利用した駆動方法でコギングレス・非接触を実現。精密な加工の仕事をする工作機械に最適な駆動方式です。

■同軸上の多頭制御が可能

ボールネジ駆動方式では不可能だった、一軸上での稼動体多頭制御が可能です。

■優れた加速・速度性能

動力変換構造がないためボールネジ駆動方式では不可能な高速位置決めから低速位置決め、滑らかな一定速動作まで可能となります。また、伝導効率が高いので、優れた加速度性能を発揮します。 製品ラインナップ

■MML020 タイプ

精密位置決め・高速度・高加速度を必要とする小型半導体製造装置など、限られた小スペースでの使用が可能です。製造装置の小型化に最適なリニアモータです。

  • シリーズ

    リニアモータ MML020

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リニアモータ MML020 品番1件

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MML020

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最大推力 N

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 5,000

最大速度 m/s

2 - 3 3 - 6 6 - 9

定格推力 N

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300

定格電流 A

0 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 25

可搬重量 kg

0 - 10 10 - 20 20 - 40 40 - 70 70 - 130

繰り返し精度 μm

1 - 2 2 - 3

ストローク mm

100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,500

分解能 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 100

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

コアレスモータ株式会社は、2017年に株式会社エムリンクおよびICファンV-TECH株式会社の事業を継承する形で、設立されたコアレスモーター専門メーカーです。 神奈川県大和市に本社を置き、中国上海に協力工場を設けています...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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