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全自動研削装置 SGM-9100-SGM-9100
全自動研削装置 SGM-9100-秀和工業株式会社

全自動研削装置 SGM-9100
秀和工業株式会社



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この製品について

化合物半導体ウエハの難削、胎性素材に最適な高精度研削を実現。カセット式全自動グラインダー。 全自動グラインダーSGM-9100は難削なSiCなどの化合物半導体ウエハを研削するために開発されました。長年培ってきた研削ノウハウと各種機構を取り入れ「硬い」「脆い」「薄い」ウエハを効率よく研削します。 当社の特長である揺動機構のほか、砥石軸受は2軸で構成され、3チャックのターンテーブルが高スループットを実現します。 特徴 ◼︎全自動研削システム CtoC仕様で、アライメント、粗研削、仕上げ研削、リンス洗浄、スピン乾燥を自動で行います。 ◼︎2軸式砥石軸受け 砥石軸受けを2軸搭載し、粗研削、仕上げ研削を同時に行います。 ◼︎揺動機構 砥石軸受けが前後に揺動しながら研削します。ウエハのより平坦化を可能にしました。 ◼︎ターンテーブル 3つのチャックをターンテーブル上に配置し、効率的なハンドリングと高スループットを実現します。 ◼︎インプロセス計測 加工中のウエハの厚みを常に計測するIPG制御により、安定した研削精度を可能にしています。

  • シリーズ

    全自動研削装置 SGM-9100

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全自動研削装置 SGM-9100 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応ウエハサイズ 砥石軸数 チャック数 砥石径 砥石軸モーター 砥石軸回転数 ワーク軸回転数 ワークチャック直径 厚さ計測機器 装置重量 装置寸法
全自動研削装置 SGM-9100-品番-SGM-9100

SGM-9100

要見積もり

Φ4in~Φ8in

2

3

Φ300mm

11kW

3,000rpm (MAX)

600rpm (MAX)

Φ4inch~Φ8inchユニバーサルチャック

インプロセス接触式タイプ (オプション:非接触レーザータイプ)

7,500kg

W:1,400mm、D:3,400mm、H:1,860mm

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使用用途

#金型加工 #工具製作 #精密部品 #自動車部品 #航空部品 #電子部品 #ベアリング #ギア加工 #超硬加工 #セラミックス

加工方式

円筒研削盤 平面研削盤 内面研削盤 センタレス研削盤

主軸配置

縦軸型 横軸型

自動化機能

手動操作型 NC制御型 ロボット連携型

といし寸法 mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 610 610 - 700

加工範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

質量 kg

0 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 6,000 6,000 - 9,000 9,000 - 12,000 12,000 - 15,000 15,000 - 36,000

といし寸法(幅) mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600 600 - 700 700 - 800 800 - 900

主軸回転数 rpm

0 - 1,000 1,000 - 2,000 4,000 - 7,000 7,000 - 31,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

秀和工業株式会社は、半導体ウエハの研削機・研磨機の専門メーカーです。 1951年に創業され、1984年に秀和工業株式会社として設立されました。東京都足立区に拠点を構え、創立以来半導体ウエハの加工、特に精密研削・研磨装置...

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  • 本社所在地: 東京都
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