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片面ポリッシングマシーン SW-08P-SW-08P
片面ポリッシングマシーン SW-08P-秀和工業株式会社

片面ポリッシングマシーン SW-08P
秀和工業株式会社



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この製品について

リジット式上軸機構で円周上の平坦度を安定確保。片面ポリッシングマシーンSW-08Pは、ポリッシングプレートが最高150rpm回転し、上軸の揺動機構、駆動機構の他、エアーシリンダ加圧機構、ワークをバキューム吸着できるバキュームチャック機構、ポリッシングプレートの回転数自動切換え及び上軸加圧の自動切換、また冷却機構等想定される様々な加工条件に対応できる、各種機構を装備した高性能装置です。 特徴 ◼︎上軸受け調整機構 ワークの支持は一般的なフローティング式ではなく、ワークを保持するチャックが 自由度を持たないリジット方式を採用しています。バキュームチャックを装着した上軸受けがプレートとチャック面が平行になる様に調整できる機構です。 ワークチャックの自由度がないため、円周上平坦度管理が非常に簡単になりました。 ◼︎上軸の揺動機構・駆動機構 往復運動と強制駆動回転は、加工面に方向性をなくし高精度の研磨が可能です。また強制駆動回転はラップ定盤の自由なポイントに、上軸を設定できます。 ◼︎エアーシリンダー加圧機構と逆圧機構 ダブルエアーシリンダー式加圧機構なので、ワークの種類や大きさが変わっても、簡単に可変できます。又、逆圧機構により、微圧力の研磨も可能です。 ◼︎バキュームチャック機構 キャリアプレートを使用しなくても、バキュームチャックで直接ワークを固定することができます。また、ポーラスチャックも装着できます。 ◼︎回転変速装置 インバータ式変速装置を採用することにより、滑らかに任意の回転数まで変速することが可能になりました。 ◼︎回転変速プログラム プレートとワークチャックの回転数をステップごとに任意に設定でき、その切替えも自動で行われます。またこの時加圧も自動で可変できます。 ◼︎冷却装置 ポリッシング時の熱の発生は精度に影響します。チラー付き冷却タンクの冷却水をプレート下部に噴射して、効率よく冷却します。 ◼︎スラリー流量監視システム (オプション) 加工中のポリッシングスラリーの流量を常に監視し、スラリー供給タンクのスラリーが空になってしまった時、加工を速やかに停止させます。 ◼︎タッチパネル 研磨加工レシピを最大30種類入力することができます。

  • シリーズ

    片面ポリッシングマシーン SW-08P

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片面ポリッシングマシーン SW-08P 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ラップ定盤回転数 ラップ定盤外径 上軸回転数 上軸振り回転 上軸振り振幅 上軸荷重 上軸回転電動機 上軸振り電動機 主電動機 寸法/幅・奥・高 重量
片面ポリッシングマシーン SW-08P-品番-SW-08P

SW-08P

要見積もり

300rpm (P150rpm)

400mm

30~230rрm

20回/min

0~20min

0~20kg

三相40w

三相60w

三相1.5kw

1,180x800×1,300mm

500kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

秀和工業株式会社は、半導体ウエハの研削機・研磨機の専門メーカーです。 1951年に創業され、1984年に秀和工業株式会社として設立されました。東京都足立区に拠点を構え、創立以来半導体ウエハの加工、特に精密研削・研磨装置...

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  • 本社所在地: 東京都
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