超音波流量計洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Mシリーズ-UCUF-02M□-□□□

超音波流量計洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Mシリーズ
東京計装株式会社

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この製品について

■概要UCUF-Mシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-M形検出器と、SFC形変換器で構成されます。UCUF形検出器の接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、稼動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。

SFC形変換器は、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しています。各種薬液に対応するため流体動粘度影響をキャンセルする補正機能が搭載されています。DINレール取付タイプでは省スペース化に最適です。RS485通信機能によるプロセスの集中管理が可能です。

■特長・EMC適合規格:EN61326-1
・RoHS対応
・接続チューブピッチ80mmに統一
・動粘度40mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能
・精度は指示値の±1%以内 (流速1m/s以上において) 
・広いレンジアビリディ (代表値100:1) 
・理想的なクリーン構造の検出器
・腐食に強く、取付けが容易

■主な用途・半導体製造プロセスの純水、超純水の流量測定
・各種薬液注入プロセスの流量測定
・高腐食性液体の流量測定
・CMPスラリー流量測定
・その他、小～中口径プロセス液体流量測定
・洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に最適

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
超音波流量計洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Mシリーズ

取扱企業
東京計装株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

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メーター・計測機器

超音波流量計

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超音波流量計洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Mシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定対象	口径	流量レンジ	流体温度	流体圧力	プロセス接続	測定精度	周囲温度	流体の音速	流体の動粘度	保護等級	設置場所	接続チューブサイズ	材質接液部	材質センサキャップ	材質ケーブルフィッティング	材質ケーブルシース	材質固定バンド	専用ケーブル	コネクタ	対応変換器形式
	UCUF-02M□-□□□	要見積もり	液体全般 (気泡を含まない液体およびPFAを透過または浸食しないこと)	2.5mm	最大：0.025~0.1L/min 最小：0~0.025L/min	10~90℃	0.5MPa max.	PFAチューブエンド	±1.0% (流速1m/s以上)	0~60℃	1,000~2,200m/s	0.8~40mm²/s	IP65	屋内	1/4"	PFA	PP	PP	PVC	PP	同軸ケーブル2本付属、ケーブル長5m (最大30mまで延長ケーブルで対応可能)	SMB、BNC	SFC-010L：デジタルゼロクロス方式コネクタタイプ SMB