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超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Kシリーズ-UCUF-04K/□□
超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Kシリーズ-東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Kシリーズ
東京計装株式会社

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この製品について

■概要

UCUF-Kシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-K形検出器と、SFC形変換器で構成されます。UCUF形検出器の接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため、半導体装置などの高いクリーン度が要求されるプロセスに最適な流量計です。 SFC形変換器は、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった、流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しています。各種薬液に対応するため流体動粘度影響をキャンセルする補正機能が搭載されています。RS485通信機能によるプロセスの集中管理が可能です。

■特長

・EMC適合規格:EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013 ・RoHS対応 ・動粘度40mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能 ・精度は指示値の±1%以内 (流速1m/s以上において) ・広いレンジアビリティ (100:1代表値) ・理想的なクリーン構造の検出器 ・腐食に強く、取付けが容易

■主な用途

・半導体製造プロセスの純水・超純水の流量測定 ・各種薬液注入プロセスの流量測定 ・高腐食性液体の流量測定 ・CMPスラリー流量測定 ・その他、小~中口径プロセス液体流量測定 ・洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に最適

  • シリーズ

    超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Kシリーズ

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超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Kシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 検出器仕様 測定対象 検出器仕様 口径 検出器仕様 流量レンジ 検出器仕様 流体温度 検出器仕様 流体圧力 検出器仕様 プロセス接続 検出器仕様 測定精度 周囲温度 周囲湿度 保護等級 流体音速 流体動粘度 接続チューブサイズ 構造 材質 接液部 材質 センサキャップ 材質 ケーブルフィッティング 材質 BNCケーブルシース 専用ケーブル
超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Kシリーズ-品番-UCUF-04K/□□

UCUF-04K/□□

要見積もり

液体全般 (気泡を含まない液体、混合液は均一に溶解していること)

4mm

最大:0.8~3L/min
最小:0~0.8L/min

+10~60℃

0~0.5MPa (G)

PFAチューブエンド

±0.008L/min~±1%

0~+60℃

30~80%RH

IP65相当 (屋内設置仕様)

1,000~2,200m/s

0.3~40mm²/s

3/8"

IP65

New PFA

PP

PP

PVC

同軸ケーブル2本付属、ケーブル長5m (最大30mまで延長ケーブルで対応可能)

フィルターから探す

流量計をフィルターから探すことができます

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IP69K IPX4

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会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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