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超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L-UCUF-02M□-□□□/SFC-010L-0□
超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L-東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L
東京計装株式会社

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この製品について

■概要

UCUF-02M/SFC-010Lは液体用超音波流量計です。純水、超純水や各種薬液などの微小流量を高精度測定できます。測定管路の口径は2.5mmで、従来のUCUF形超音波流量計では測定が難しかった微小流量域を広くカバーします。 接液部はすべて半導体産業向けPFAで構成され、可動部が全くなく、液溜まりを生じやすいシール部もない理想的なクリーン構造で、半導体製造装置などのクリーン度が要求されるプロセスに最適です。流量計の入口、出口部は規格寸法のチューブになっており、各種PFA継手への接続が可能です。

■特長

・小口径化:この超音波流量計は、超音波の伝播計測が難しかった内径φ2.5mmの管路で超音波の伝搬計測に成功しました。 ・微小流量:最小フルスケール設定範囲:0~10mL/min ・EMC適合規格:EN61326-1 ・RoHS対応 ・動粘度40mm²/sまでの高粘度流体の測定が可能 ・理想的なクリーン構造の検出器 ・腐食に強く、取付けが容易 ・精度 : 指示値の±1%以内 (流量25mL/min以上において)

■主な用途

・半導体製造プロセスの純水、超純水の流量測定 ・各種薬液注入プロセスの流量測定 ・高腐食性液体の流量測定 ・CMPスラリー流量測定 ・その他、小~中口径プロセス液体流量測定 ・洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に最適

  • シリーズ

    超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L

企業レビュー 5.0

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2025年2月7日にレビュー済み

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超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 検出器仕様 測定対象 検出器仕様 口径 検出器仕様 流量レンジ 検出器仕様 流体温度 検出器仕様 流体圧力 検出器仕様 プロセス接続 検出器仕様 測定精度 検出器仕様 周囲温度 検出器仕様 流体の音速 検出器仕様 流体の動粘度 検出器仕様 接液部材質 検出器仕様 構造 検出器仕様 圧力損失 検出器仕様 質量 検出器仕様 専用ケーブル 検出器仕様 ケーブル長 検出器仕様 コネクタ 変換器仕様 形式 変換器仕様 ディスプレイ 変換器仕様 出力 変換器仕様 電源 変換器仕様 構造 変換器仕様 取付 変換器仕様 時定数 変換器仕様 ローカットオフ 変換器仕様 パラメータ設定 変換器仕様 リニアライズ機能 変換器仕様 アドレススイッチ 変換器仕様 消費電流 変換器仕様 突入電流
超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L-品番-UCUF-02M□-□□□/SFC-010L-0□

UCUF-02M□-□□□/SFC-010L-0□

要見積もり

液体全般 (気泡を含まない液体およびPFAを透過または侵食しないこと)

1/4"

最大0~100mL/min
最小0~10mL/min
※フルスケール設定は10mL/min STEPとなります

10~90℃

0~0.5MPa

PFAチューブエンド

±1%RD (25mL/min以上)
±0.25mL/min (25mL/min未満)
※但し20℃の水を流した場合

0~60℃

1,000~2,200m/s

0.8~40mm²/s

PFA

IP65 (屋内仕様)

水の場合の圧力損失 (kPa) -C×Q²
ただしC:圧力損失係数16.8、Q:流量 (L/min)

約250g

同軸ケーブル2本付属

5m (標準)

SMB

SFC-010L

4桁LED、瞬時流量 (mL/min)

電流出力 DC4-20mA 負荷抵抗500Ω以下
周波数出力 オープンコレクタパルス、負荷定格:DC30V、10mA 0~1,000Hz
警報出力 オープンコレクタ2点、負荷定格:DC30V、10mA

DC24V±10%

IP20 (屋内仕様)

DINレール取付

0.5~25秒

0~25%F.S.

RS485通信による設定 (Modbusプロトコル)

動粘度設定による自動補正、手動リニアライザも付加可能 (最大15点、折れ線近似方式)

1~32まで設定可能

約155mA (スタート時約350mA)

約2A/2ms

フィルターから探す

流量計をフィルターから探すことができます

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6,000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IP69K IPX4

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会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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  • 本社所在地: 東京都

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