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超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に コンパクト超音波流量モニタ UCF006-UCF006-030□
超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に コンパクト超音波流量モニタ UCF006-東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に コンパクト超音波流量モニタ UCF006
東京計装株式会社

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この製品について

■概要

UCF006はコンパクトモデルの超音波流量モニタです。流量測定部をストレート構造にすることで、半導体プロセスにおいて問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。また、ストレート管路のため、圧力損失がほとんど無く、ラインの圧力低下を軽減できます。 さらに時間分解能の向上と信号処理の高速化により従来製品と比較して低流量域で計測の安定度が向上しました。半導体製造装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適です。

■特長

・耐気泡性能を大幅に改善:液体中に気泡が混入すると超音波の伝播が阻害され、流量計測が不安定になります。本製品は、流量測定部をストレート構造にすることで、流量計測の安定性を向上させる事に成功しました。 ・低圧力損出:ストレート管路のため、圧力損失がほとんど無く、ラインの圧力低下を軽減 ・省スペース:検出器と変換器を一体構造にすることで、省スペース化を実現 ・適合規格:EMC:EN61326-1:2013、RoHS対応

■主要用途

・半導体製造プロセスの純水・超純水の流量測定 ・その他、小~中口径プロセス液体流量測定 ・洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に最適

  • シリーズ

    超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に コンパクト超音波流量モニタ UCF006

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超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に コンパクト超音波流量モニタ UCF006 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定対象 口径 流量レンジ 流体温度 流体圧力 プロセス接続 測定精度 構造 質量 ケーブル ケーブル長 材質 出力 パラメータ設定 電源 消費電流
超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に コンパクト超音波流量モニタ UCF006-品番-UCF006-030□

UCF006-030□

要見積もり

3/8" (外形寸法…φ9.53、内径寸法…φ6.35)

0~3,000mL/min

10~80℃ (周囲温度0~50℃)

0~0.5MPa

PFAチューブエンド

±2%R.D. (1,700mL/min以上)
±34mL/min (1,700mL/min未満)
(ただし20℃の水を流した場合)

IP65 (屋内仕様)

本体 約80g
ケーブル 約140g

UCF006専用ケーブル (多芯ケーブル)

5m (標準)

PFA (接液部)

・電流出力 (アナログ出力) :DC4-20mA (負荷抵抗500Ω以下)
・周波数出力 (パルス出力) :オープンコレクタパルス 負荷定格DC30V,10mA 0-1000Hz

RS485通信による設定 (Modbusプロトコル)

DC24V±10%

38mA以下

フィルターから探す

流量計をフィルターから探すことができます

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IP69K IPX4

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会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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  • 本社所在地: 東京都
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