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マスフローコントローラ ガス流量制御 コントロールバルブ ピエゾコントロールバルブ取扱企業
株式会社リンテックカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 最大流量レンジ (N2換算) | バルブ動作 | 最小制御流量 | バルブ開度設定入力 | 応答時間 | 必要差圧 | 最大動作圧 | 耐圧 | 使用保証温度 | 外部リークレート | 接ガス部材質 | シール材 | 所要電源 | 取付可能姿勢 | バルブ方式 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
CV-3102 |
要見積もり |
100CCM,500CCM,5LM |
ノーマリオープン、ノーマリクローズ |
最大値の2% |
0~5VDC |
0.5秒以下 |
50~300kPa |
300kPa (G) |
1MPa (G) |
0~50℃･0~80%RH |
1×10-11Pa･m3/sec He |
SUS316L,PCTFE,Au |
Au |
+15VDC±3% 50mA, -15VDC±3% 50mA |
自由 |
ピエゾアクチュエータ |
700g |
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