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フォトマスク検査装置 精密座標測定機 PMARS-CRGS-PMARS-CRGS
フォトマスク検査装置 精密座標測定機 PMARS-CRGS-株式会社エイチ・ティー・エル

フォトマスク検査装置 精密座標測定機 PMARS-CRGS
株式会社エイチ・ティー・エル



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この製品について

半導体用フォトマスク上にあるパターンの位置を高精度に測定する精密座標測定機。

■特長

・高剛性な顕微鏡システムを搭載し、ドリフトフリーと高い測定再現性を実現 ・ロボットでのマスクハンドリングより、チャンバー内の環境変動を最小限に抑制 ・マスクフレーム (マスクホルダー) の変更により5インチから9インチまで測定可能

  • シリーズ

    フォトマスク検査装置 精密座標測定機 PMARS-CRGS

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フォトマスク検査装置 精密座標測定機 PMARS-CRGS 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜)
フォトマスク検査装置 精密座標測定機 PMARS-CRGS-品番-PMARS-CRGS

PMARS-CRGS

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使用用途: マスク検査

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使用用途

#欠陥検出 #ウェハ検査 #部品検査 #表面検査 #搬送収納 #高精度検査 #チップ検査 #2D3D測定

対応ウェーハサイズ mm

50 - 150 150 - 200 200 - 300

マシンサイクルタイム pcs/sec

1 - 5 5 - 10 10 - 15

画像処理部構成 台

2 - 4 4 - 8

処理時間 個/分

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社エイチ・ティー・エルは、半導体・液晶用関連装置を中心に、装置販売や装置用ソフトウエア開発を行う会社です。 1994年に東京都立川市で設立されました。プラズマ関連装置、光3Dプリンターなど各メーカー品の販売を行う...

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  • 本社所在地: 東京都
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