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フォトマスク検査装置 欠陥検査装置 Dione-CIS-Dione-CIS
フォトマスク検査装置 欠陥検査装置 Dione-CIS-株式会社エイチ・ティー・エル

フォトマスク検査装置 欠陥検査装置 Dione-CIS
株式会社エイチ・ティー・エル



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この製品について

半導体用フォトマスク上にあるパターンの欠陥、異物検査を高速、高精度で行う欠陥検査装置

■特長

・高速、高分解能でDie to Database、Die to Die検査が可能 ・専用のDatabaseエンジン (RIG System) を搭載し、高密度データに対応 ・光源にランプを使用し、低ランニングコストを実現 ・透過検査と反射検査の同時検査が可能 (Die to Database、Die to Die) ・マスクホルダーの変更により、5インチから9インチまで検査可能 ・検査中に検出欠陥の確認が可能:オフラインレビュー機能 (検査中に透過光イメージ、反射光イメージをキャプチャー) ・SMIF Pod対応可

  • シリーズ

    フォトマスク検査装置 欠陥検査装置 Dione-CIS

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フォトマスク検査装置 欠陥検査装置 Dione-CIS 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜)
フォトマスク検査装置 欠陥検査装置 Dione-CIS-品番-Dione-CIS

Dione-CIS

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使用用途: 回路パターン検査

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使用用途

#欠陥検出 #ウェハ検査 #部品検査 #表面検査 #搬送収納 #高精度検査 #チップ検査 #2D3D測定

対応ウェーハサイズ mm

50 - 150 150 - 200 200 - 300

マシンサイクルタイム pcs/sec

1 - 5 5 - 10 10 - 15

画像処理部構成 台

2 - 4 4 - 8

処理時間 個/分

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社エイチ・ティー・エルは、半導体・液晶用関連装置を中心に、装置販売や装置用ソフトウエア開発を行う会社です。 1994年に東京都立川市で設立されました。プラズマ関連装置、光3Dプリンターなど各メーカー品の販売を行う...

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  • 本社所在地: 東京都
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