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フォトマスク検査装置 精密座標測定装置 Mercury-Mercury
フォトマスク検査装置 精密座標測定装置 Mercury-株式会社エイチ・ティー・エル

フォトマスク検査装置 精密座標測定装置 Mercury
株式会社エイチ・ティー・エル



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この製品について

FPD用フォトマスクの線幅、開口径、Total pitchや座標位置などの寸法を自動測定

■特長

・高位置決め精度、高平坦度を誇るエアスライダと測定テーブル ・ナノメーターでテーブル位置を制御するレーザ干渉計とリニアエンコーダー ・環境変化を最小化するサーマルチャンバー、など ・これら最先端のオプトメカトロニクスを駆使し、世界最高水準の測定精度を実現。 ・また、独自の測定ソフトと基準マスクで精度校正、誤差要因を完全に補正し、理想的な格子座標系を構築、優れた測定精度と再現性を保証

  • シリーズ

    フォトマスク検査装置 精密座標測定装置 Mercury

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フォトマスク検査装置 精密座標測定装置 Mercury 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応サイズ
フォトマスク検査装置 精密座標測定装置 Mercury-品番-Mercury

Mercury

要見積もり

≤ G10 (カスタマイズ可)

フィルターから探す

半導体外観検査装置をフィルターから探すことができます

対応ウェーハサイズ mm

50 - 150 150 - 200 200 - 300

マシンサイクルタイム pcs/sec

1 - 5 5 - 10 10 - 15

画像処理部構成 台

2 - 4 4 - 8

処理時間 個/分

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社エイチ・ティー・エルは、半導体・液晶用関連装置を中心に、装置販売や装置用ソフトウエア開発を行う会社です。 1994年に東京都立川市で設立されました。プラズマ関連装置、光3Dプリンターなど各メーカー品の販売を行う...

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  • 本社所在地: 東京都

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