膜厚計高速マッピングエリプソメーター ME-210
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この製品について

■特長・高速・高分解能・高精度　最大毎分5000点以上のハイ・スピードで50um角の微小領域も、1nm以下の極薄膜も、膜厚の面分布測定ができます。
・超高速に極薄膜の膜厚/屈折率分布を測定。
・50μm角の微小領域を測定可能。
・広域データのマウスドラッグよる微小領域選定。
・シンプルなインターフェイスの簡単操作。
・text、csvフォーマットでのデータ出力。

■機能・付属ソフトにより、ME-210の操作と取得データの解析・保存、保存データの再読み込みなど、一連の操作を簡単にを行うことができます。
・測定した膜厚や屈折率の分布データを様々に表示・解析可能です。例えば、膜厚を濃淡やカラーに反映させた2Dマップや、任意の角度で視点を設定できる3Dマップ表示、ワイヤー表示などが可能です。
・ME-210では、広い面積を測定したデータウィンドウ上でマウスドラッグで選択した任意領域を、高解像度に測定することができます。この操作を繰り返すことで、任意の微小領域を効率的に見つけ出し、その領域の膜厚情報を得ることができます。まるで地図ソフトを扱うように、直感的な操作が自慢です。また、これらの測定データは、txt形式やcsv形式で出力・保存することができますので、Excelなどのソフトウェアで扱うことができます。また、保存データを測定時と異なる光学モデルをもちいて、再計算させることも出来ます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
膜厚計高速マッピングエリプソメーター ME-210

取扱企業
株式会社菱光社

カテゴリ

メーター・計測機器

エリプソメーター

メーター・計測機器

膜厚計

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膜厚計高速マッピングエリプソメーター ME-210 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定方式	測定再現性	光源	最小測定領域	入射角度	標準ステージサイズ	測定速度	寸法・重量	製品内容
	ME-210	要見積もり	フォトニック結晶アレイ並列処理方式	膜厚: 0.1nm, 屈折率: 0.001	半導体レーザ (typ. 636nm)	広域モード：0.5mm×0.05mm 高精細モード：5.5um×5.5um	70[deg]	最大8inchウェハー対応	毎分1,000点 (参考)	システム全体：650 W×650 D×1,740 H [mm], 約200kg	ME210システム一式、操作パソコン、　標準サンプルソフトウェア (インストールCD) 、取扱説明書