膜厚計 PCAエリプソメーター SE-102
株式会社菱光社

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この製品について

■概要エリプソメータとは、光学薄膜の膜厚と屈折率とを同時に測定することができる測定装置です。その原理は、サンプルからの反射光が、膜厚と屈折率に応じて偏光状態を変化する現象を利用しています。 従ってエリプソメータの基本構成は、光源と受光素子に加えて偏光状態を計測するための仕組みが加わります。この手法では、段差計などでは計測不可能な極めて薄い膜の計測が可能なため、 近年その重要性や利用分野が広がりつつあります。

従来のエリプソメータでは、装置の大きさが課題の一つでした。それは、偏光状態を計測する仕組みとして、右図に示すように、偏光子や波長板などの光学素子を回転させる駆動機構が不可欠だったからです。この問題は、複数あるエリプソメータの方式に共通する課題でした。転駆動機構は欠かせない、そんな既成概念を、PCAエリプソメータは打ち破りました。フォトニック結晶アレイとCCDの組み合わせにより、エリプソメータから完全に駆動機構を排除することに成功したのです。小型軽量で高精度、しかも使用可能環境が飛躍的に広がりました。PCAエリプソメータは、エリプソメータの概念を変えます。

■特長・点測定　最速約1/10秒間隔のリアルタイム測定が可能。膜厚の時間変動解析などにも有効です。
・線測定　0.2mm間隔/100点のデータを約5秒で測定。段差計では得られない、『膜厚変化』を手軽に測定できます。
・面測定　約2mm幅の領域を、最長20mmまでスキャン測定。5万点の高解像度面データを約30秒でスキャン、測定結果出力までトータルで約1分と、圧倒的な高速性を誇ります。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
膜厚計 PCAエリプソメーター SE-102

取扱企業
株式会社菱光社

カテゴリ

メーター・計測機器

エリプソメーター

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膜厚計

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膜厚計 PCAエリプソメーター SE-102 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定方式	光源	測定スポット	測定再現性	測定速度	線測定	面測定	サンプルステージ	本体寸法／重量	製品内容
	SE-102	要見積もり	フォトニック結晶アレイ並列処理方式	半導体レーザ (typ. 636nm)	約 2mm角 (点測定時) 、 0.1mm以上 () 面測定時の解像度	膜厚: 0.1nm, 屈折率: 0.001	ストローク：10mm (固定) 幅：2.2mm (固定)	ストローク：20mm (固定)	ストローク：10mm (固定) 幅：2.2mm (固定)	ステージサイズ：4インチ	W300 × D235 × H258 [mm] 約9kg	SE-102本体、レーザ光源ユニット、オートコリメータユニット、ケーブル類、操作用PC、ソフトウェア、標準サンプル取扱説明書