膜厚計 PCA-エリプソメータ SE-101
株式会社菱光社

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この製品について

■概要フォトニック結晶偏光センサーにより、回転駆動部を不要にした、高速・小型のエリプソメータです。エリプソメータとは、光学薄膜の膜厚と屈折率とを同時に測定することができる測定装置です。その原理は、サンプルからの反射光が、膜厚と屈折率に応じて偏光状態を変化する現象を利用しています。 従ってエリプソメータの基本構成は、光源と受光素子に加えて偏光状態を計測するための仕組みが加わります。この手法では、段差計などでは計測不可能な極めて薄い膜の計測が可能なため、 近年その重要性や利用分野が広がりつつあります。

従来のエリプソメータでは、装置の大きさが課題の一つでした。それは、偏光状態を計測する仕組みとして、右図に示すように、偏光子や波長板などの光学素子を回転させる駆動機構が不可欠だったからです。この問題は、複数あるエリプソメータの方式に共通する課題でした。転駆動機構は欠かせない、そんな既成概念を、PCAエリプソメータは打ち破りました。

フォトニック結晶アレイとCCDの組み合わせにより、エリプソメータから完全に駆動機構を排除することに成功したのです。小型軽量で高精度、しかも使用可能環境が飛躍的に広がりました。PCAエリプソメータは、エリプソメータの概念を変えます。

■特長・小型でポータブル (約4kg) 。
・日常的な膜厚/屈折率管理に好適な単一波長エリプソメータ。
・調整が容易で、誰にでも簡単に操作できます。
・高速測定 (0.1秒以下) 。
・コリメータユニット、PC、ソフトウェアなど、必要な機能が全て標準装備。
・レーザユニット、偏光センサー、コリメータを含む全光学系を一体化、取り外し可能。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
膜厚計 PCA-エリプソメータ SE-101

取扱企業
株式会社菱光社

カテゴリ

メーター・計測機器

エリプソメーター

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膜厚計

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膜厚計 PCA-エリプソメータ SE-101 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定方式	測定再現性	光源	測定スポット	入射角度	サンプルステージ	PC接続 I/F	寸法・重量	製品内容
	SE-101	要見積もり	フォトニック結晶アレイ並列処理方式	膜厚: 0.1nm, 屈折率: 0.001	半導体レーザ (typ. 636nm)	約 1mm角	70[deg]	最大4 inch対応手動ステージ	GigE	本体： 250 W×175 D×218.3 H [mm] 約4kg	SE-101本体、レーザ光源ユニットオートコリメータユニット、ケーブル類、操作用PC、ソフトウェア、標準サンプル取扱説明書