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クリーンルーム用イグチベアー ILS型-ILS-150
クリーンルーム用イグチベアー ILS型-株式会社井口機工製作所

クリーンルーム用イグチベアー ILS型
株式会社井口機工製作所

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この製品について

概要

■スムースな動作を実現した可動ステージ。

ILS型可動ステージはスムースな動作と高い耐荷重性能を持ち、ガラス基板搬送用のカセットなどワークの位置決め用途に適しています。任意の位置で可動ステージをホールドすることが出来るタイプや、ステージの高さを調節できる昇降式タイプもラインナップ。

■位置決めステージILSシリーズ〈特許取得済み〉

各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。G7、G8級に対応した大型タイプや、従来規模の製造ライン改善用に対応した小型タイプなど、世界的な採用が拡大しています。滑るように全方向に移動できる ILS ステージユニットは、イグチベアーを採用した従来機に比べ、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできます。 位置決め完了後、AGVによりカセット受け渡し後の無負荷状態には、可動部が常に原点に復帰し、次のカセットを待ちます。また、可動部をホールドさせることができる Sタイプもご用意しております。

  • シリーズ

    クリーンルーム用イグチベアー ILS型

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クリーンルーム用イグチベアー ILS型 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) タイプ 自重 水平ストローク 使用荷重 ケース 取付フランジ 可動ステージ その他
クリーンルーム用イグチベアー ILS型-品番-ILS-150

ILS-150

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フリータイプ

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±15mm

150kgf

アルミ+アルマイト処理

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SUS304

スプリング復帰式

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移動範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

繰り返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2

耐荷重 N

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000

最高速度 mm/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

真直度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

分解能nm nm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 6

分解能μrad μrad

0 - 0.3 0.3 - 1

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株式会社井口機工製作所

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会社概要

株式会社井口機工製作所は、1968年に設立された機械部品メーカーです。

1955年に精密部品加工事業で個人創業し、1968年に株式会社に改組されました。生産品目を拡大しつつ、東京本社の他に国内2拠点と3...

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  • 本社所在地: 東京都

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